| 講演名 | 2000/6/23 低温ポリシリコンTFTを用いた高性能CMOS技術 竹井 美智子, 植松 達也, 吉野 健一, 竹内 文代, 三島 康由, 佐々木 伸夫, |
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| 抄録(和) | 300mm角ガラス基板上に450℃以下の低温でレーザ結晶化法により作製したポリシリコンTFTを用いたCMOS回路で良好な特性を得ることに成功した。チャネル長0.5μmの121段リングオシレータの伝搬遅延時間で0.18nsecを、またチャネル長1μmの40段シフトレジスタの最高動作周波数で133MHz(電源電圧5V)を得ることが出来た。 |
| 抄録(英) | A high performance TFT CMOS technology on a glass substrate (300mmx300mm) is developed with the laser-crystallized low-temperature poly-Si transistors fabricated below 450℃. Maximum operating frequency of 133MHz is obtained at a supply voltage of 5V for a 40stage shift-register with 1μm channel length. Propagation delay time of 0.18ns is obtained for a 121 stage CMOS ring oscillator with 0.5μm channel length. This technology will pave the way for "system LCD". |
| キーワード(和) | 低温ポリシリコン / 薄膜トランジスタ / 高速化 / 低消費電力 / システムLCD |
| キーワード(英) | low temperature poly-Si / TFT / high speed / low power dissipation / system LCD |
| 資料番号 | ED2000-78,SDM2000-78 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
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| 開催期間 | 2000/6/23(から1日開催) |
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| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Silicon Device and Materials (SDM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 低温ポリシリコンTFTを用いた高性能CMOS技術 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | ED2000-78 / SDM2000-78 High performance CMOS technology by using low temperature Poly-Si TFTs on a glass substrate |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 低温ポリシリコン / low temperature poly-Si |
| キーワード(2)（和/英） | 薄膜トランジスタ / TFT |
| キーワード(3)（和/英） | 高速化 / high speed |
| キーワード(4)（和/英） | 低消費電力 / low power dissipation |
| キーワード(5)（和/英） | システムLCD / system LCD |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 竹井 美智子 / Michiko Takei |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 富士通研究所LCD研究部 LCD Laboratories. Fujitsu Laboratories Co.Ltd. |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 植松 達也 / Tatsuya Uematsu |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 富士通研究所LCD研究部 LCD Laboratories. Fujitsu Laboratories Co.Ltd. |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 吉野 健一 / kenich Yoshino |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 富士通研究所LCD研究部 LCD Laboratories. Fujitsu Laboratories Co.Ltd. |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 竹内 文代 / Fumiyo Takeuchi |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 富士通研究所LCD研究部 LCD Laboratories. Fujitsu Laboratories Co.Ltd. |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 三島 康由 / Yasuyoshi Mishima |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 富士通研究所LCD研究部 LCD Laboratories. Fujitsu Laboratories Co.Ltd. |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 佐々木 伸夫 / Nobuo Sasaki |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 富士通研究所LCD研究部 LCD Laboratories. Fujitsu Laboratories Co.Ltd. |
| 発表年月日 | 2000/6/23 |
| 資料番号 | ED2000-78,SDM2000-78 |
| 巻番号（vol） | vol.100 |
| 号番号（no） | 152 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |