| 講演名 | 1999/11/19 微細MOSFETデバイスの試作に用いる電子線描画に関する研究 片岡 耕太郎, 藤原 郁夫, 林田 茂樹, 小倉 孝之, 梅谷 正人, 田辺 昭, 桜庭 弘, 遠藤 哲郎, 舛岡 富士雄, |
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| 抄録(和) | |
| 抄録(英) | |
| キーワード(和) | EB / 直描 / 近接効果 / MOSFET / リングオシレーター |
| キーワード(英) | EB / direct writing / proximity effect / MOSFET / ring oscillator |
| 資料番号 | SDM99-160 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
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| 開催期間 | 1999/11/19(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（和） | |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Silicon Device and Materials (SDM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 微細MOSFETデバイスの試作に用いる電子線描画に関する研究 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Electron beam lithography for MOSFET device fabrication |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | EB / EB |
| キーワード(2)（和/英） | 直描 / direct writing |
| キーワード(3)（和/英） | 近接効果 / proximity effect |
| キーワード(4)（和/英） | MOSFET / MOSFET |
| キーワード(5)（和/英） | リングオシレーター / ring oscillator |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 片岡 耕太郎 / Kotaro Kataoka |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 通信・放送機構仙台リサーチセンター Sendai Research Center, Telecommunications Advancement Organization of Japan |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 藤原 郁夫 / Ikuo Fujiwara |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 通信・放送機構仙台リサーチセンター Sendai Research Center, Telecommunications Advancement Organization of Japan |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 林田 茂樹 / Shigeki Hayashida |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 通信・放送機構仙台リサーチセンター:シャープ(株) Sendai Research Center, Telecommunications Advancement Organization of Japan:Sharp Corp. |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 小倉 孝之 / Takayuki Ogura |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 通信・放送機構仙台リサーチセンター:シャープ(株) Sendai Research Center, Telecommunications Advancement Organization of Japan:Sharp Corp. |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 梅谷 正人 / Masato Umetani |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 通信・放送機構仙台リサーチセンター:沖電気工業(株) Sendai Research Center, Telecommunications Advancement Organization of Japan:Oki Electric Industry Corp. |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 田辺 昭 / Akira Tanabe |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 通信・放送機構仙台リサーチセンター:日本電気(株) Sendai Research Center, Telecommunications Advancement Organization of Japan:NEC Corp. |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 桜庭 弘 / Hiroshi Sakuraba |
| 第 7 著者 所属（和/英） | 通信・放送機構仙台リサーチセンター:東北大学電気通信研究所 Sendai Research Center, Telecommunications Advancement Organization of Japan:Research Institute of Electrical, Tohoku Univ. |
| 第 8 著者 氏名（和/英） | 遠藤 哲郎 / Tetsuo Endoh |
| 第 8 著者 所属（和/英） | 通信・放送機構仙台リサーチセンター:東北大学電気通信研究所 Sendai Research Center, Telecommunications Advancement Organization of Japan:Research Institute of Electrical, Tohoku Univ. |
| 第 9 著者 氏名（和/英） | 舛岡 富士雄 / Fujio Masuoka |
| 第 9 著者 所属（和/英） | 通信・放送機構仙台リサーチセンター:東北大学電気通信研究所 Sendai Research Center, Telecommunications Advancement Organization of Japan:Research Institute of Electrical, Tohoku Univ. |
| 発表年月日 | 1999/11/19 |
| 資料番号 | SDM99-160 |
| 巻番号（vol） | vol.99 |
| 号番号（no） | 457 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 8 |
| 発行日 | |