| 講演名 | 1999/11/19 投影レンズ収差の自動測定方法の検討 早野 勝也, 長谷川 昇雄, 井古田 まさみ, 浅井 尚子, 今井 彰, |
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| 抄録(和) | |
| 抄録(英) | |
| キーワード(和) | レンズ収差測定 / Coma収差 / ハーフトーン位相シフトマスク / サイドピーク / 非対称性 / 自動測定 |
| キーワード(英) | measurement of Coma / Half-tone Phase-shifting Mask / side-peaks / automatic measurement |
| 資料番号 | SDM99-157 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
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| 開催期間 | 1999/11/19(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Silicon Device and Materials (SDM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 投影レンズ収差の自動測定方法の検討 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | The study on automatic measurement method of lens aberration |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | レンズ収差測定 / measurement of Coma |
| キーワード(2)（和/英） | Coma収差 / Half-tone Phase-shifting Mask |
| キーワード(3)（和/英） | ハーフトーン位相シフトマスク / side-peaks |
| キーワード(4)（和/英） | サイドピーク / automatic measurement |
| キーワード(5)（和/英） | 非対称性 |
| キーワード(6)（和/英） | 自動測定 |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 早野 勝也 / Katsuya Hayano |
| 第 1 著者 所属（和/英） | (株)日立製作所デバイス開発センタ Device Development Center, Hitachi, Ltd. |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 長谷川 昇雄 / Norio Hasegawa |
| 第 2 著者 所属（和/英） | (株)日立製作所デバイス開発センタ Device Development Center, Hitachi, Ltd. |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 井古田 まさみ / Masami Ikota |
| 第 3 著者 所属（和/英） | (株)日立製作所デバイス開発センタ Device Development Center, Hitachi, Ltd. |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 浅井 尚子 / Naoko Asai |
| 第 4 著者 所属（和/英） | (株)日立製作所デバイス開発センタ Device Development Center, Hitachi, Ltd. |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 今井 彰 / Akira Imai |
| 第 5 著者 所属（和/英） | (株)日立製作所デバイス開発センタ Device Development Center, Hitachi, Ltd. |
| 発表年月日 | 1999/11/19 |
| 資料番号 | SDM99-157 |
| 巻番号（vol） | vol.99 |
| 号番号（no） | 457 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 8 |
| 発行日 | |