講演名 1999/7/23
Degradation Behavior in the Remnant Polarization of SrBi_2Ta_2O_9 Thin Films by Hydrogen Annealing and its Recovery by Post-annealing.
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抄録(和)
抄録(英) The degradation behavior in the remnant polarization (Pr) of sol-gel-derived SrBi_2Ta_2O_9 (SBT) thin films having Pt top and bottom electrodes by annealing under a 5% H_2/95% N_2 atmosphere is investigated. The hydrogen annealing is performed at temperatures ranging from 250℃ to 480℃. By the annealing, the Pr drops to almost zero for all temperatures. Post-annealing at temperatures higher than 700℃ under an air atmosphere recovers the Pr. Interestingly, the recovery is most ineffective for the sample annealed at the Curie temperature (Tc) of the SBT films. A phenomenological model that explains this anomalous recovery behavior is presented.
キーワード(和)
キーワード(英)
資料番号 SDM99-97
発行日

研究会情報
研究会 SDM
開催期間 1999/7/23(から1日開催)
開催地(和)
開催地(英)
テーマ(和)
テーマ(英)
委員長氏名(和)
委員長氏名(英)
副委員長氏名(和)
副委員長氏名(英)
幹事氏名(和)
幹事氏名(英)
幹事補佐氏名(和)
幹事補佐氏名(英)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Silicon Device and Materials (SDM)
本文の言語 ENG
タイトル(和)
サブタイトル(和)
タイトル(英) Degradation Behavior in the Remnant Polarization of SrBi_2Ta_2O_9 Thin Films by Hydrogen Annealing and its Recovery by Post-annealing.
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英)
第 1 著者 氏名(和/英) / Oh Seong Kwon
第 1 著者 所属(和/英)
School of Material Science and Engineering, Seoul National University
発表年月日 1999/7/23
資料番号 SDM99-97
巻番号(vol) vol.99
号番号(no) 232
ページ範囲 pp.-
ページ数 6
発行日