| 講演名 | 1994/11/24 Poly-Siの高温アニール効果 : S.G.G 曲 偉峰, 久下沼 信, 正木 裕一, 柿本 芳雄, 北川 章夫, 鈴木 正國, |
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| 抄録(和) | ガス炎を用いた高温アニールにより、顕著に(110)や(100)配向したPoly-Si膜のSecondary Grain Growth(S.G.G)を結晶配向の観点から研究した。高温アニールを行うことによりランダム配向や(110)配向の膜では(311)及び(110)面のX-線回折強度が増加し(111)面からの回折強度は増加した。しかし、(100)配向のPoly-Si膜では(100)の回折強度は減少し(111)が減少する場合が多く見られた。このような結果はランダム配向の膜に対して行われた従来のS.G.Gの実験結果と矛盾する部分がある。今回の実験結果に対し、結晶面の表面エネルギーをもとに議論した。 |
| 抄録(英) | Secondary grain growth(S.G.G)of(110)-or(100)-oriented poly-Si films has been studied using flat gas flame from the viewpoint of crystallographic orientaions.For(110)-oriented and randomly oriented samples,X-ray diffraction intensities of(111)plane increased and those from(311)and(110)planes decreased by annealing at high temperaure.On the other hand,X-ray diffraction of(100) plane increased and(111),(110)and(311)decreased for(100)-oriented samples.These results are not in agreement with those of previous studies.Preferential S.G.G are discussed,based on interface energy consideration. |
| キーワード(和) | ラマンイメージング / 再結晶化シリコン層 / 欠陥検出 |
| キーワード(英) | Raman Imaging / Recrystallized silicon layer / Detection of defect |
| 資料番号 | SDM94-129 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
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| 開催期間 | 1994/11/24(から1日開催) |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Silicon Device and Materials (SDM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | Poly-Siの高温アニール効果 : S.G.G |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Secondary grain growth of poly-Si by high temperature annealing |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | ラマンイメージング / Raman Imaging |
| キーワード(2)（和/英） | 再結晶化シリコン層 / Recrystallized silicon layer |
| キーワード(3)（和/英） | 欠陥検出 / Detection of defect |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 曲 偉峰 / Weifeng Qu |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 金沢大学工学部 Department of Electrical and Computer Engineering,Faculty of Technology,Kanazawa University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 久下沼 信 / Makoto Kugenuma |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 金沢大学工学部 Department of Electrical and Computer Engineering,Faculty of Technology,Kanazawa University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 正木 裕一 / Yuichi Masaki |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 金沢大学工学部 Department of Electrical and Computer Engineering,Faculty of Technology,Kanazawa University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 柿本 芳雄 / Yoshio Kakimoto |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 金沢大学工学部 Department of Electrical and Computer Engineering,Faculty of Technology,Kanazawa University |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 北川 章夫 / Akio Kitagawa |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 金沢大学工学部 Department of Electrical and Computer Engineering,Faculty of Technology,Kanazawa University |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 鈴木 正國 / Masakuni Suzuki |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 金沢大学工学部 Department of Electrical and Computer Engineering,Faculty of Technology,Kanazawa University |
| 発表年月日 | 1994/11/24 |
| 資料番号 | SDM94-129 |
| 巻番号（vol） | vol.94 |
| 号番号（no） | 366 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |