| 講演名 | 1998/10/22 垂直歩留まり立ち上げにおける統計解析と欠陥解析のインパクト 加賀 徹, |
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| 抄録(和) | 垂直歩留まり立ち上げに不可欠な、適切な目標歩留まり設定、現状把握、ならびに系統的な要因解析と対策優先順位付けに関してその概要を記した。中でも最も時間とリソースを必要とする系統的な要因解析では、まずYs(システマティック要因)、Yr(ランダム要因)の分離解析を行い対策課題の優先順位付けを行うことが重要であることを示し、次に、各要因を定量的な目標設定を行いながらいかに高精度に実施するかに関してその手法を記した。 |
| 抄録(英) | This paper describes the yield goal setting, understanding current yield management method, and systematic yield analysis and yield improvement method for high-speed yield ramp up. Among these components the paper focuses on the systematic yield analysis method, e.g., Ys(systematic yield component) and Yr(random yield component)extraction, and an optimum methodology for reducing each yield components. |
| キーワード(和) | 目標歩留まり / 垂直歩留まり立ち上げ / 系統的な要因解析 / システマティック要因 / ランダム要因 |
| キーワード(英) | Yield goal / yield ramp up / systematic yield analysis / systematic yield component / random yield component |
| 資料番号 | VLD98-73,ED98-98,SDM98-134,ICD98-204 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
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| 開催期間 | 1998/10/22(から1日開催) |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Silicon Device and Materials (SDM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 垂直歩留まり立ち上げにおける統計解析と欠陥解析のインパクト |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Impact of Statistical and Defect Analysis on Fast Yield Ramp Up |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 目標歩留まり / Yield goal |
| キーワード(2)（和/英） | 垂直歩留まり立ち上げ / yield ramp up |
| キーワード(3)（和/英） | 系統的な要因解析 / systematic yield analysis |
| キーワード(4)（和/英） | システマティック要因 / systematic yield component |
| キーワード(5)（和/英） | ランダム要因 / random yield component |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 加賀 徹 / Toru Kaga |
| 第 1 著者 所属（和/英） | ケーエルエー・テンコール株式会社 KLA-Tencor Japan Ltd. |
| 発表年月日 | 1998/10/22 |
| 資料番号 | VLD98-73,ED98-98,SDM98-134,ICD98-204 |
| 巻番号（vol） | vol.98 |
| 号番号（no） | 349 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 8 |
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