| 講演名 | 1998/12/10 Siナノ結晶を埋め込んだSiO_2薄膜の単一電子トンネリング 田中 篤嗣, 井上 翼, 藤井 稔, 林 真至, 山本 恵一, |
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| 抄録(和) | Siナノ結晶を埋め込んだSiO_2薄膜(～8nm)の直流電気伝導を測定した。埋め込んだナノ結晶のサイズは2nm以下である。測定の結果、室温においてクーロンブロッケードを観測した。低温では約250mV周期のクーロンステアケースを観測した。モンテカルロシミュレーションによるフィッティングの結果、電流は数個のナノ結晶を流れていることが考えられる。 |
| 抄録(英) | Electrical transport properties of extremely thin SiO_2 films(～8nm)containing Si nanocrystals smaller than 2nm in diameter were studied. Coulomb staircases with a step width of about 250mV were observed at low temperatures. Although the Coulomb staircases were smeared out at room temperature, Coulomb blockade was observed even at room temperature. |
| キーワード(和) | Siナノ結晶 / 単一電子トンネリング / クーロンステアケース / 同時スパッタリング |
| キーワード(英) | Si nanocrystals / single electron tunneling Coulomb staircase / cosputtering |
| 資料番号 | SDM98-178 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
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| 開催期間 | 1998/12/10(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Silicon Device and Materials (SDM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | Siナノ結晶を埋め込んだSiO_2薄膜の単一電子トンネリング |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Single electron tunneling of SiO_2 films containing Si nanocrystals |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | Siナノ結晶 / Si nanocrystals |
| キーワード(2)（和/英） | 単一電子トンネリング / single electron tunneling Coulomb staircase |
| キーワード(3)（和/英） | クーロンステアケース / cosputtering |
| キーワード(4)（和/英） | 同時スパッタリング |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 田中 篤嗣 / A Tanaka |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 神戸大学大学院自然科学研究科 The Graduate School of Science and Technology, Kobe University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 井上 翼 / T Inoue |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 神戸大学大学院自然科学研究科 The Graduate School of Science and Technology, Kobe University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 藤井 稔 / M Fujii |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 神戸大学工学部電気電子工学科 Department of Electrical and Electronics Engineering, Faculty of Engineering, Kobe University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 林 真至 / S Hayashi |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 神戸大学大学院自然科学研究科 神戸大学工学部電気電子工学科 The Graduate School of Science and Technology, Kobe University Department of Electrical and Electronics Engineering, Faculty of Engineering, Kobe University |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 山本 恵一 / K Yamamoto |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 神戸大学大学院自然科学研究科 神戸大学工学部電気電子工学科 The Graduate School of Science and Technology, Kobe University Department of Electrical and Electronics Engineering, Faculty of Engineering, Kobe University |
| 発表年月日 | 1998/12/10 |
| 資料番号 | SDM98-178 |
| 巻番号（vol） | vol.98 |
| 号番号（no） | 445 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | |