| 講演名 | 1998/4/23 128Mbit単一電子メモリ 石井 智之, 矢野 和男, 佐野 聡明, 峰 利之, 村井 二三夫, 久禮 得男, 関 浩一, |
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| PDFダウンロードページ | PDFダウンロードページへ |
| 抄録(和) | 大規模集積時のデバイス、回路技術の基礎技術開発を目的として128Mbit単一電子メモリチップを試作した。メモリセルは多結晶シリコンベースの単一電子メモリの構造自由度を利用し、ビット当たり2F^2の小面積である。素子間の特性ばらつきに対する動作の安定性を確保するため、メモリセルリファレンスによる書き込み、読み出しやベリファイ書き込みの周辺回路を用意した。試作結果では歩留まりは悪かったものの基本動作を確認した。 |
| 抄録(英) | A 128Mb single-electron meory targets minimum-bit-cost technology.The cell has a double stacked structure, in which two cells are integrated in an ideal contact area, 4F^2.The cell-to-cell characteristics variations, the main difficulty in large-scale integration, are compensated with the dummy-cell-referenced verified read/write. |
| キーワード(和) | 単一電子 / メモリチップ / ナノシリコン / ベリファイ / ダミーセル参照 |
| キーワード(英) | single-electron / memory-chip / nano-silicon / verify dummy-cell-reference |
| 資料番号 | |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
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| 開催期間 | 1998/4/23(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Silicon Device and Materials (SDM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 128Mbit単一電子メモリ |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | A 128-Mb Single-Electron Memory |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 単一電子 / single-electron |
| キーワード(2)（和/英） | メモリチップ / memory-chip |
| キーワード(3)（和/英） | ナノシリコン / nano-silicon |
| キーワード(4)（和/英） | ベリファイ / verify dummy-cell-reference |
| キーワード(5)（和/英） | ダミーセル参照 |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 石井 智之 / Tomoyuki Ishii |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 日立中研 Central Research Laboratory, Hitachi Ltd. |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 矢野 和男 / Kazuo Yano |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 日立中研 Central Research Laboratory, Hitachi Ltd. |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 佐野 聡明 / Toshiaki Sano |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 日立デバイス Hitachi Device Engineering |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 峰 利之 / Toshiyuki Mine |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 日立中研 Central Research Laboratory, Hitachi Ltd. |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 村井 二三夫 / Fumio Murai |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 日立中研 Central Research Laboratory, Hitachi Ltd. |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 久禮 得男 / Tokuo Kure |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 日立中研 Central Research Laboratory, Hitachi Ltd. |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 関 浩一 / Koichi Seki |
| 第 7 著者 所属（和/英） | 日立中研 Central Research Laboratory, Hitachi Ltd. |
| 発表年月日 | 1998/4/23 |
| 資料番号 | |
| 巻番号（vol） | vol.98 |
| 号番号（no） | 30 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 7 |
| 発行日 | |