| 講演名 | 1993/12/9 電子線励起超音波信号による非破壊・内部観察 香川 恵一, 中尾 一郎, 竹野下 寛, |
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| 抄録(和) | 電子線超音波顕微鏡(Electron-Acoustic Microscopy)は、断続電子線照射により励起された超音波信号を用いた非破壊・内部観察が可能な観察方法として、提案されている。我々のEAMは、通常のSEMに、電子線断続装置と、断続電子線照射により励起され伝播された超音波信号を検出する超音波検出器と、検出した信号の増幅器とを付加し構成する。今後この非破壊・内部観察をMOSLSIに適用し、SEMモードによる表面像で観察場所を選択の後、EAMモードによる内戦観察を行い、表面A1配線電極下の拡散層の状況を非破壊でその場観察する事が出来た。 |
| 抄録(英) | Electron-Acoustic Microscopy(EAM)was proposed as a means of nondestructive internal observation using an ultrasonic signal excited by a chopped electron beam.The EAM apparatus is constructed the ordinary SEM unit,attached a chopping unit of electron beam,a detector of ultrasonic signal and a signal amplifier.We have undertaken nondestructive internal observation of MOSLSI chips by means of SEM and EAM observation of fixed area where is selected by SEM mode.By this surface and internal observation,the diffused layer was observed nondestructively under the aluminum electrode and SiO_2 layer. |
| キーワード(和) | 電子線超音波顕微 / 断続電子線照射 / 超音波信号 / 非破壊・内部観察 / MOSLSI |
| キーワード(英) | EAM / SEM / EBIC / nondestructive intenal observation / MOSLSI |
| 資料番号 | SDM93-164 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
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| 開催期間 | 1993/12/9(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Silicon Device and Materials (SDM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 電子線励起超音波信号による非破壊・内部観察 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Nondestructive and internal observation of MOSLSI using electron Acoustic signal |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 電子線超音波顕微 / EAM |
| キーワード(2)（和/英） | 断続電子線照射 / SEM |
| キーワード(3)（和/英） | 超音波信号 / EBIC |
| キーワード(4)（和/英） | 非破壊・内部観察 / nondestructive intenal observation |
| キーワード(5)（和/英） | MOSLSI / MOSLSI |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 香川 恵一 / Keiichi Kagawa |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 松下電器半導体研究センター Semiconductor Research Center,Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 中尾 一郎 / Ichiro Nakao |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 松下電器半導体研究センター Semiconductor Research Center,Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 竹野下 寛 / Hiroshi Takenoshita |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 大阪府立大学工学部電子工学教室 Department of Electronics,College of Engineering,University of Osaka Prefecture |
| 発表年月日 | 1993/12/9 |
| 資料番号 | SDM93-164 |
| 巻番号（vol） | vol.93 |
| 号番号（no） | 368 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 7 |
| 発行日 | |