| 講演名 | 1993/12/9 poly-Siのガス炎高温アニールによるSecondary grain growth 鈴見 雅彦, 曲 偉峰, 北川 章夫, 鈴木 正国, |
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| 抄録(和) | 酸素を混入したガス炎を用いてSiO_2基板上のpoly-Siの高温アニールを行った。ガス炎高温アニールによって、結晶粒径が1μmを超えるまでに増大するSecondary grain growthが観測された。本方法は、大面積の高品質poly-Siを低コストで作製する方法として期待される。 |
| 抄録(英) | It was found that secondary grain growth in poly-Si films was caused by flat-flame gas anealings in which oxgen-mixed fuel gas(C6:5000kcal, m^3)was used to elevate the temperature of flames. The sample films were annealed at ～1400℃.Grains of ～100nm grew u p into large grains of ～1μm in 10min. |
| キーワード(和) | SOI / 二次結晶成長 / 多結晶シリコン / ガス炎アニール |
| キーワード(英) | SOI / secondary grain growth / poly-Si / gas flame annealing |
| 資料番号 | SDM93-157 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
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| 開催期間 | 1993/12/9(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（和） | |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Silicon Device and Materials (SDM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | poly-Siのガス炎高温アニールによるSecondary grain growth |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Secondary grain growth in poly-Si films by high temperature gas flame annealing |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | SOI / SOI |
| キーワード(2)（和/英） | 二次結晶成長 / secondary grain growth |
| キーワード(3)（和/英） | 多結晶シリコン / poly-Si |
| キーワード(4)（和/英） | ガス炎アニール / gas flame annealing |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 鈴見 雅彦 / Masahiko Suzumi |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 金沢大学工学部電気情報工学科 Department of Electrical & Computer Engineering,Faculty of Technology,Kanazawa University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 曲 偉峰 / Weifeng Qu |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 金沢大学工学部電気情報工学科 Department of Electrical & Computer Engineering,Faculty of Technology,Kanazawa University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 北川 章夫 / Akio Kitagawa |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 金沢大学工学部電気情報工学科 Department of Electrical & Computer Engineering,Faculty of Technology,Kanazawa University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 鈴木 正国 / Masakuni Suzuki |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 金沢大学工学部電気情報工学科 Department of Electrical & Computer Engineering,Faculty of Technology,Kanazawa University |
| 発表年月日 | 1993/12/9 |
| 資料番号 | SDM93-157 |
| 巻番号（vol） | vol.93 |
| 号番号（no） | 368 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
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