| 講演名 | 1995/8/17 次世代ULSI製造の鍵を握るプロセス評価技術 河津 哲, |
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| 抄録(和) | 半導体製造技術の進歩は非常に速く、最先端技術と持囃されている。また、日本の製造技術の優越性が喧伝されていたが、米国の復活、韓国を始めとするアジア地域の最近の躍進には目を瞠るものがある。ここで日本の半導体製造技術の再生を図る一つの方法として、評価技術の面から検討を加えるた。要素技術開発のみならず、利用技術と共に発想の転換が必要なことを論及した。 |
| 抄録(英) | The semiconductor production technology make headway quickly. And almost Japanese believed that semiconductor production technology of Japan is No 1. Now we know this image is an illusion. I believe that the key methodology for new birth of production technology is reconstruction of powerful evaluation technology. |
| キーワード(和) | 評価技術 / 半導体製造技術 |
| キーワード(英) | evaluation technology / semiconductor production technology |
| 資料番号 | |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
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| 開催期間 | 1995/8/17(から1日開催) |
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| テーマ（英） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Silicon Device and Materials (SDM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 次世代ULSI製造の鍵を握るプロセス評価技術 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Key and Powerful Technology for Semiconductor Production |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 評価技術 / evaluation technology |
| キーワード(2)（和/英） | 半導体製造技術 / semiconductor production technology |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 河津 哲 / Satoru Kawazu |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 菱電セミコンダクタシステムエンジニアリング Ryouden Semiconductor System Engineering Co. |
| 発表年月日 | 1995/8/17 |
| 資料番号 | |
| 巻番号（vol） | vol.95 |
| 号番号（no） | 206 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | |