| 講演名 | 1996/11/1 表面波により生成されたプラズマ源のモデリング Odrobina Igor, 神藤 正士, |
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| 抄録(和) | 電磁モード表面波の定在波により維持されたヘリウムガス(1.0 Torr)放電を、自己無撞着なシミレーションを用いて調べた。ここで、マイクロ波電力は、プラズマ表面に沿って伝搬する平面電磁波とプラズマとの結合により供給されるものとした。この結果、プラズマの軸方向密度分布、マルチモードの励振の可能性、電磁界各成分の空間分布等が明らかにされた。さらに、本研究では、プラズマ共鳴のある場合の電磁界分布にも触れる。 |
| 抄録(英) | A selfconsistent simulation of helium discharge (1Torr) sustained by standing electromagnetic surface wave has been carried out. The microwave power is coupled to the plasma via excitation of planar electromagnetic waves propagating along the plasma surface. The obtained results show the plasma density longitudinal profile modulation with the wavelength, the possibility of the stationary multimodal operation regime and the alteration of the electromagnetic field profile to an non-sinusoidal. This contribution presents also calculations of electromagnetic field profiles under the presence of the plasma resonance. |
| キーワード(和) | スロットアンテナ / 表面波モード / 放射モード / プラズマ共鳴ゾーン |
| キーワード(英) | slotted anntena / surface wave mode / radiative modes / plasma resonance zone |
| 資料番号 | SDM96-110 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
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| 開催期間 | 1996/11/1(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Silicon Device and Materials (SDM) |
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| 本文の言語 | ENG |
| タイトル（和） | 表面波により生成されたプラズマ源のモデリング |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | MODELLING OF SURFACE WAVE SUSTAINED PLASMA SOURCE |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | スロットアンテナ / slotted anntena |
| キーワード(2)（和/英） | 表面波モード / surface wave mode |
| キーワード(3)（和/英） | 放射モード / radiative modes |
| キーワード(4)（和/英） | プラズマ共鳴ゾーン / plasma resonance zone |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | Odrobina Igor / Igor Odrobina |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 静岡大学大学院電子科学研究科 Graduate School of Electronic Science and Technology, Shizuoka University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 神藤 正士 / Masashi Kando |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 静岡大学工学部 Department of Electrical and Electronic Engineering, Shizuoka University |
| 発表年月日 | 1996/11/1 |
| 資料番号 | SDM96-110 |
| 巻番号（vol） | vol.96 |
| 号番号（no） | 344 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |