| 講演名 | 1997/4/24 探針集光型トンネル電子発光顕微鏡による量子構造評価 村下 達, 舘野 功太, |
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| 抄録(和) | 探針集光型トンネル電子ルミネッセンス(TL)顕微鏡を用いて、GaAs(50nm)/AlAs(50nm)多重量子井戸構造の劈開面をTL測定した。波形ひずみを抑えて高速で鮮明なTL画像測定を可能にするフォトンカウンタを光測定系に用いた。TL像では個々のGaAs層とAlAs層を1画素(<3nm)レベルの空間分解能で明瞭に識別できた。探針集光型TL顕微鏡は個々の量子構造の電子・光学特性をナノメータレベルの空間分解能で実空間・複合評価する手段として有効である。 |
| 抄録(英) | Cross-section of GaAs(50nm)/AlAs(50nm) multiple quantum wells were characterized with tunneling-electron luminescence (TL) microscopy using tip collection. A photon counter reducing image distortion at high speed TL imaging was introduced. In TL images, individual GaAs and AlAs layers were clearly distinguished with high spatial resolution of one pixel level (<3nm). The TL microscope will be useful for real-space characterization of quantum structures. |
| キーワード(和) | STM / トンネル電子 / ルミネッセンス / 量子構造 / 多重量子井戸 |
| キーワード(英) | STM / tunneling electron / luminescence / quantum structure / MQW |
| 資料番号 | ED97-5,SDM97-5 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
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| 開催期間 | 1997/4/24(から1日開催) |
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| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Silicon Device and Materials (SDM) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 探針集光型トンネル電子発光顕微鏡による量子構造評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Tunneling-electron luminescence microscopy of quantum structures using tip collection |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | STM / STM |
| キーワード(2)（和/英） | トンネル電子 / tunneling electron |
| キーワード(3)（和/英） | ルミネッセンス / luminescence |
| キーワード(4)（和/英） | 量子構造 / quantum structure |
| キーワード(5)（和/英） | 多重量子井戸 / MQW |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 村下 達 / T. Murashita |
| 第 1 著者 所属（和/英） | NTTシステムエレクトロニクス研究所 NTT System-electronics Laboratories |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 舘野 功太 / K. Tateno |
| 第 2 著者 所属（和/英） | NTT光エレクトロニクス研究所 NTT Opto-electronics Laboratories |
| 発表年月日 | 1997/4/24 |
| 資料番号 | ED97-5,SDM97-5 |
| 巻番号（vol） | vol.97 |
| 号番号（no） | 23 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | |