| 講演名 | 2002/9/12 球状弾性表面波素子におけるスプリアスバルク波の解析 石川 暁, 長 秀雄, 塚原 祐輔, 中曽 教尊, 山中 一司, |
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| 抄録(和) | 球の弾性表面波(SAW)の無回折伝搬を利用した球状弾性表面波(ball SAW)素子の設計指針を得るため、球の弾性波伝搬特性の理論及び実験的解析を行った。初めに、熱弾性モードおよびアブレーションモードのレーザー励起による弾性波の変位を精度良く再現でき、計算の妥当性を検証できた。次に面内および面外応力により励起した弾性波を比較した結果、バルク波は面外応力の場合の方が伝搬モードの個数が多く、SAWに対する相対振幅も大きいことが分かった。すなわち、伝搬角φが0°、90°とにおける面外応力の場合のバルク波の相対振幅の平均値は、面内応力に対してそれぞれ1.67倍、3.1倍あった。また、この理由は面外応力の場合のバルク波の指向性が広いためであることが分かった。以上より、ball SAW素子には、面内方向の応力が優勢となるようにすだれ状電極の形成や圧電材料の選定を行う必要があることが分かった。 |
| 抄録(英) | We analyzed the acoustic waves propagating in a sphere to establish a useful guideline for the design of ball surface acoustic wave (SAW) device exploiting the diffraction-free propagation of SAW on a sphere. The acoustic waves exited by out-of-plane stress and those exited by in-plane stress were compared. The results showed that when the out-of-plane stress was applied, the relative amplitudes of the bulk waves to that of the SAW were larger and the number of bulk waves was larger than that when the in-plane stress was applied, while the SAW had similar waveforms in each case. Consequently, we found that it is necessary for ball SAW device to select a piezoelectric material and form of interdigital transducer (IDT) so that the in-plane stress becomes dominant. |
| キーワード(和) | 球状弾性表面波素子 / 球 / スプリアスバルク波 |
| キーワード(英) | ball surface acoustic wave device / sphere / spurious bulk waves |
| 資料番号 | US2002-52 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | US |
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| 開催期間 | 2002/9/12(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Ultrasonics (US) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 球状弾性表面波素子におけるスプリアスバルク波の解析 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Analysis of spurious bulk waves in ball surface wave device |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 球状弾性表面波素子 / ball surface acoustic wave device |
| キーワード(2)（和/英） | 球 / sphere |
| キーワード(3)（和/英） | スプリアスバルク波 / spurious bulk waves |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 石川 暁 / Satoru Ishikawa |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東北大院工 Graduate School of Engineering, Tohoku University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 長 秀雄 / Hideo Cho |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東北大院工 Graduate School of Engineering, Tohoku University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 塚原 祐輔 / Yusuke Tsukahara |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 凸版印刷総合研究所 Toppan Printing Co., Ltd. |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 中曽 教尊 / Noritaka Nakaso |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 凸版印刷総合研究所 Toppan Printing Co., Ltd. |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 山中 一司 / Kazushi Yamanaka |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 東北大院工 Graduate School of Engineering, Tohoku University |
| 発表年月日 | 2002/9/12 |
| 資料番号 | US2002-52 |
| 巻番号（vol） | vol.102 |
| 号番号（no） | 307 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |