| 講演名 | 2002/9/12 超高結合・零温度特性をもつ弾性表面波基板を用いた広帯域低損失フィルタ及び広帯域共振器フィルタの解析と実験 山之内 和彦, 石井 亨, |
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| 抄録(和) | 本研究は、回転Yカット-X伝搬のLiNbO_3上に逆の温度特性をもつSiO_2薄膜を設けたSiO_2/LiNbO_3構造の弾性表面波基板が、薄いSiO_2膜厚H/λ(H:SiO_2膜厚、λ:弾性表面波の波長)が0.20付近において、k^2が0.2以上、界面短絡の場合、伝搬減衰が零、周波数温度特性が零の基板であり、かつこの基板のレーリー波のk^2がほとんど零の擬似表面波基板であることが得られた研究を基に、この基板を浮き電極一方向性変換器(FEUDT)に用いた低損失広帯域フィルタに応用した解析と実験結果、及び広帯域共振器の特性とこれを用いたラダー型フィルタの解析と実験結果について述べる。 |
| 抄録(英) | In this paper, wide band FEUDT filters and wide band ladder type filers using the wide band SAW resonators are investigated theoretically and experimentally, using SiO_2/Rotated Y-cut, X-propagating LiNbO_3 leaky SAW substrates with a large k^2 (Electromechanical coupling) of 0.25 and zero TCF (Temperature coefficient of frequency) and zero propagation attenuation in the case of metalized surface at thin film thickness of H/λ≒0.20 (H: SiO_2 film thickness, λ:SAW wavelength). |
| キーワード(和) | 弾性表面波 / 薄膜構造基板 / 高結合圧電基板 / 零温度特性 / 浮き電極弾性表面波フィルタ / 弾性表面波共振器 / ラダー型フィルタ |
| キーワード(英) | Surface Acoustic Wave / SiO_2/LiNbO_3 Substrate / High Coupling / zero TCF / FEUDT wide band filter / Ladder type filter |
| 資料番号 | US2002-46 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | US |
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| 開催期間 | 2002/9/12(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Ultrasonics (US) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 超高結合・零温度特性をもつ弾性表面波基板を用いた広帯域低損失フィルタ及び広帯域共振器フィルタの解析と実験 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Low-Loss Wide Band FEUDT Filters and Ladder Type Resonator Filters Using Temperature Stable Super High Coupling SAW Substrates |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 弾性表面波 / Surface Acoustic Wave |
| キーワード(2)（和/英） | 薄膜構造基板 / SiO_2/LiNbO_3 Substrate |
| キーワード(3)（和/英） | 高結合圧電基板 / High Coupling |
| キーワード(4)（和/英） | 零温度特性 / zero TCF |
| キーワード(5)（和/英） | 浮き電極弾性表面波フィルタ / FEUDT wide band filter |
| キーワード(6)（和/英） | 弾性表面波共振器 / Ladder type filter |
| キーワード(7)（和/英） | ラダー型フィルタ |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 山之内 和彦 / Kazuhiko Yamanouchi |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東北工業大学電子工学科 Tohoku Institute of Technology |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 石井 亨 / Toru Ishii |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東北工業大学電子工学科 Tohoku Institute of Technology |
| 発表年月日 | 2002/9/12 |
| 資料番号 | US2002-46 |
| 巻番号（vol） | vol.102 |
| 号番号（no） | 307 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | |