| 講演名 | 2002/1/17 弾性表面波モータの摩擦駆動面における弾性変形の影響 黒澤 実, 伊藤 秀徳, 浅井 勝彦, |
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| 抄録(和) | 弾性表面波デバイスを用いて摩擦駆動を行う弾性表面波モータは, 小型・薄型で将来非常に有望なマイクロモータとして期待される。このスライダには, ステータ素子との接触状態を制御し良好に保つために, 表面に微小な突起を持つ, シリコンデバイスが用いられている。突起寸法とその配置密度の状態により, ステータの弾性変形量が変わり, モータの特性が変化する。今回, 弾性変形量を静的に有限要素法解析し, 動作特性との関係を検討した。その結果, 振動振幅の1～1.5倍程度の静的な弾性変形を与える予圧のとき, 推力が最大となるという結果を得た。また最大推力として, これまでの最大値となる10Nを得た。 |
| 抄録(英) | We have proposed to utilize a surface acoustic wave (SAW) devices for ultrasonic motors and demonstrated its possibility. A multi contact type slider using a silicon slider whose contact surface is micro machined have been proposed. Diameter and density of projections fabricated on silicon sliders were examined experimentally. Then, the elastic deformation due to pre-load was estimeted with the FEM analysis. Importance of elastic deformation control to obtain large output force with a surface acoustic wave motor is discussed in this paper. By adding pre-load to slider, stator and slider surfaces are deformed a few tens nano meter. Appropriate deformation in normal direction against normal vibration displacement amplitude of surface acoustic wave existed. By moderate deformation, the output force of the surface acoustic wave motor was enlarged up to about 10N and no-load speed was 0.7m/s. |
| キーワード(和) | アクチュエータ / リニアモータ / 圧電モータ / 弾性表面波 / マイクロモータ / 摩擦駆動 |
| キーワード(英) | Actuator / Linear motor / Piezo motor / Surface acoustic wave / Micro motor / Friction drive |
| 資料番号 | 2001-US-91,2001-EA-105 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | US |
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| 開催期間 | 2002/1/17(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Ultrasonics (US) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 弾性表面波モータの摩擦駆動面における弾性変形の影響 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Elastic Deformation at Friction Drive Surface of Surface Acoustic Wave Motor |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | アクチュエータ / Actuator |
| キーワード(2)（和/英） | リニアモータ / Linear motor |
| キーワード(3)（和/英） | 圧電モータ / Piezo motor |
| キーワード(4)（和/英） | 弾性表面波 / Surface acoustic wave |
| キーワード(5)（和/英） | マイクロモータ / Micro motor |
| キーワード(6)（和/英） | 摩擦駆動 / Friction drive |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 黒澤 実 / Minoru Kuribayashi KUROSAWA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東京工業大学大学院総合理工学研究科電子機能システム専攻 Advanced Applied Electronics, Tokyo Institute of Technology |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 伊藤 秀徳 / Hidenori ITOH |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東京工業大学大学院総合理工学研究科電子機能システム専攻 Advanced Applied Electronics, Tokyo Institute of Technology |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 浅井 勝彦 / Katsuhiko ASAI |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 松下電器産業株式会社先端技術研究所 Advanced Technology Research Laboratories, Matsushita Electric Indusrial Co., Ltd. |
| 発表年月日 | 2002/1/17 |
| 資料番号 | 2001-US-91,2001-EA-105 |
| 巻番号（vol） | vol.101 |
| 号番号（no） | 595 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 8 |
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