| 講演名 | 2001/6/29 ウェットプロセス水晶振動子フィードバック制御による有機・無機多層膜ナノスケール制御 伊藤 孝浩, 白鳥 世明, |
|---|---|
| PDFダウンロードページ | PDFダウンロードページへ |
| 抄録(和) | 水晶振動子微量天秤を交互吸着法に組み込むことにより基板への吸着をその場でモニタリングすることが可能である。これまで、交互吸着法を用いてポリイオン溶液中での各層ごとの周波数変化から薄膜の膜厚を制御していたが、各層の膜成長速度にばらつきが見られた。そこで基板上に強電解質高分子のバッファ層を加えることと、サイクルごとで吸着質量をモニタリングすることのできるプログラムを導入することで膜厚の制御性を改善した。水晶振動子の周波数変化、透過型電子顕微鏡(TEM)、エリプソメーターの結果より非常に良い精度で膜厚制御できることがわかった。 |
| 抄録(英) | Sequential adsorption process by using quartz crystal microbalance(QCM) method was successfully monitoring the adsorption of polyelectrolytes to the substrate. The method we reported previously was controlling the thickness of film by frequency shift in polyion solution. However the growth of each films was not constant. To improve the growth of films, strong polyelectrolyte was added to the surface of the substrate as a buffer layer and the diposition algorithm was changed to monitor the adsorbing mass at each block of layer. From the result of frequency shift of QCM, transmittance electron microscope(TEM) and ellipsometer, the thickness of film was precisely controlled. |
| キーワード(和) | 交互吸着法 / 水晶振動子微量天秤 / 質量制御 / 電解質ポリマー / 多層膜 |
| キーワード(英) | sequential adsorption process / QCM / mass-control / polyelectrolyte / multilayer |
| 資料番号 | US2001-24,EMD2001-16,CPM2001-31,OME2001-26 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | US |
|---|---|
| 開催期間 | 2001/6/29(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Ultrasonics (US) |
|---|---|
| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | ウェットプロセス水晶振動子フィードバック制御による有機・無機多層膜ナノスケール制御 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | The Fabrication of Organic/Inorganic Multilayer by Nano Scale QCM Feedback Control in Wet Process |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 交互吸着法 / sequential adsorption process |
| キーワード(2)（和/英） | 水晶振動子微量天秤 / QCM |
| キーワード(3)（和/英） | 質量制御 / mass-control |
| キーワード(4)（和/英） | 電解質ポリマー / polyelectrolyte |
| キーワード(5)（和/英） | 多層膜 / multilayer |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 伊藤 孝浩 / Takahiro Ito |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 慶應義塾大学理工学部物理情報工学科 Keio University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 白鳥 世明 / Seimei Shiratori |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 慶應義塾大学理工学部物理情報工学科 Keio University |
| 発表年月日 | 2001/6/29 |
| 資料番号 | US2001-24,EMD2001-16,CPM2001-31,OME2001-26 |
| 巻番号（vol） | vol.101 |
| 号番号（no） | 168 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |