講演名 2000/5/15
MHz帯超音波圧電センサアレイにおける2つの試み
鎌田 弘志,
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抄録(和) 微小な圧電セラミック素子を密配列したMHz帯超音波圧電センサアレイ2種を試作した。一つは開口大きさ0.435mm×0.435mmの素子を64個配列したリニアアレイを2つ用いてT字形に配列したものであり、もう一つは開口大きさ0.4mm×8mmの素子を128個円形に配列したアレイである。その設計構造及び実装方法ならびに試作品の基本性能評価結果について述べた。
抄録(英) Two type ultrasonic piezo-sensor dense arrays in MHz band are manufactured for trial. One type is T figure arrangement of two linear arrays which have 64 elements of 0.435mm×0.435mm aperture size each. Another one is circular array which have 128 elements of 0.4mm×8mm aperture size. The design, structure and assembly method of proto-type arrays are introduced. The measured performance data are also described.
キーワード(和) 圧電セラミックス / ダイシング / アレイ / ワイヤボンディング / 音響レンズ
キーワード(英) Piezo-ceramics / Dicing / Array / Wire-bonding / Acoustic lens
資料番号 US2000-8
発行日

研究会情報
研究会 US
開催期間 2000/5/15(から1日開催)
開催地(和)
開催地(英)
テーマ(和)
テーマ(英)
委員長氏名(和)
委員長氏名(英)
副委員長氏名(和)
副委員長氏名(英)
幹事氏名(和)
幹事氏名(英)
幹事補佐氏名(和)
幹事補佐氏名(英)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Ultrasonics (US)
本文の言語 JPN
タイトル(和) MHz帯超音波圧電センサアレイにおける2つの試み
サブタイトル(和)
タイトル(英) Design and Performance of Two type Ultrasonic Piezo-sensor Arrays in MHz Band
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) 圧電セラミックス / Piezo-ceramics
キーワード(2)(和/英) ダイシング / Dicing
キーワード(3)(和/英) アレイ / Array
キーワード(4)(和/英) ワイヤボンディング / Wire-bonding
キーワード(5)(和/英) 音響レンズ / Acoustic lens
第 1 著者 氏名(和/英) 鎌田 弘志 / Hiroshi KAMATA
第 1 著者 所属(和/英) 沖電気工業株式会社システムソリューションカンパニー先端技術研究センタ
Advanced Technology Research Division, System Solutions Company Oki Electric Industry Co., Ltd.
発表年月日 2000/5/15
資料番号 US2000-8
巻番号(vol) vol.100
号番号(no) 72
ページ範囲 pp.-
ページ数 8
発行日