講演名 1999/9/20
円筒型マイクロ超音波モータ
森田 剛, 黒澤 実, 樋口 俊郎,
PDFダウンロードページ PDFダウンロードページへ
抄録(和)
抄録(英)
キーワード(和) マイクロアクチュエータ / PZT薄膜 / 水熱合成法 / 超音波モータ
キーワード(英) Micro actuator / PZT thin film / Hydrothermal method / Ultrasonic motor
資料番号 US99-43
発行日

研究会情報
研究会 US
開催期間 1999/9/20(から1日開催)
開催地(和)
開催地(英)
テーマ(和)
テーマ(英)
委員長氏名(和)
委員長氏名(英)
副委員長氏名(和)
副委員長氏名(英)
幹事氏名(和)
幹事氏名(英)
幹事補佐氏名(和)
幹事補佐氏名(英)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Ultrasonics (US)
本文の言語 JPN
タイトル(和) 円筒型マイクロ超音波モータ
サブタイトル(和)
タイトル(英) A Cylindrical Micro Ultrasonic Motor
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) マイクロアクチュエータ / Micro actuator
キーワード(2)(和/英) PZT薄膜 / PZT thin film
キーワード(3)(和/英) 水熱合成法 / Hydrothermal method
キーワード(4)(和/英) 超音波モータ / Ultrasonic motor
第 1 著者 氏名(和/英) 森田 剛 / Takeshi MORITA
第 1 著者 所属(和/英) 理化学研究所工学基盤研究部基礎科学特別研究
Div. of Fundamental Technology Development, The Institute of Physical and Chemical Research (RIKEN)
第 2 著者 氏名(和/英) 黒澤 実 / Minoru K. KUROSAWA
第 2 著者 所属(和/英) 東京工業大学大学院総合理工学研究所電子機能システム専攻
Dept. of Advanced Applied Electronics, Interdisciplonary, Graduate School of Science of Engineering, Tokyo Institute of Technology
第 3 著者 氏名(和/英) 樋口 俊郎 / Toshiro HIGUCHI
第 3 著者 所属(和/英) 東京大学工学系研究科精密機械工学専攻
Dept. of Precision Machinary Eng., Graduate School of Eng., The University of Tokyo
発表年月日 1999/9/20
資料番号 US99-43
巻番号(vol) vol.99
号番号(no) 313
ページ範囲 pp.-
ページ数 8
発行日