| 講演名 | 1999/6/21 有限要素法を用いた弾性表面波の周波数-温度特性解析 神名 重男, Yong Yook-Kong, |
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| 抄録(和) | 本論文では、有限要素法を用いた弾性表面波の周波数-温度特性解析について述べる。まず、弾性表面波が伝搬する周期構造において、水晶の周波数-温度特性解析のための有限要素法の定式化を示す。そして、2次元解析にて、電極膜厚を変えた場合の周波数の頂点温度及び2次温度係数の計算値がSTカットの実験値と良い一致を得たことを示す。また3次元解析にて、電極交差指幅を変えた場合の横モードの周波数の計算値が実験値と良い一致を得たことを示す。さらにその周波数-温度特性は実験値と概ね一致することを示す。 |
| 抄録(英) | This paper reports a frequency-temperature analysis of surface acoustic waves using finite element method. Lagrangian equations for the frequency-temperature behavior of quartz in a surface acoustic wave periodic structure are presented. In a two-dimensional analysis, the finite element results for turnover temperature and the 2nd temperature coefficient of the f-t curve as a function of the electrode height are studied and good results are obtained when compared with the ST-cute experimental data. In a three-dimensional analysis, the frequency characteristics of the fundamental SAW mode and its transverse modes as a function of the electrodes length in the transvers direction are studied and generally good results are obtained when compared with measured values. Their frequency-temperature behavior are also studied and are reasonably well predicted. |
| キーワード(和) | 弾性表面波 / STカット / 有限要素法 / 周波数温度特性 / 電極 |
| キーワード(英) | Surface acoustic waves / ST-cut / Finite element method / Frequency-temperature / Electrodes |
| 資料番号 | US99-20 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | US |
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| 開催期間 | 1999/6/21(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Ultrasonics (US) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 有限要素法を用いた弾性表面波の周波数-温度特性解析 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Frequency-Temperature Analysis of Surface Acoustic Waves Using Finite Element Method |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 弾性表面波 / Surface acoustic waves |
| キーワード(2)（和/英） | STカット / ST-cut |
| キーワード(3)（和/英） | 有限要素法 / Finite element method |
| キーワード(4)（和/英） | 周波数温度特性 / Frequency-temperature |
| キーワード(5)（和/英） | 電極 / Electrodes |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 神名 重男 / Shigeo Kanna |
| 第 1 著者 所属（和/英） | セイコーエプソン株式会社 SEIKO EPSON Corporation |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | Yong Yook-Kong / Yook-Kong Yong |
| 第 2 著者 所属（和/英） | Civil & Environmental Engineering Dept., Rutgers University Civil & Environmental Engineering Dept., Rutgers University |
| 発表年月日 | 1999/6/21 |
| 資料番号 | US99-20 |
| 巻番号（vol） | vol.99 |
| 号番号（no） | 132 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |