| 講演名 | 1994/9/22 直線集束ビーム超音波顕微鏡による光用MgO : LiNbO_3単結晶基板の弾性的特性の定量評価 石地 弘樹, 櫛引 淳一, 中鉢 憲賢, |
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| 抄録(和) | 本報では、MgOドープ量を1mol%おきに0～9mol%まで変化させて育成したMgO:LiNbO_3単結晶から得られたZ-cut基板に対して、直線集束ビーム(LFB)超音波顕微鏡により漏洩弾性表面波(LSAW)速度の測定・解析を行い、MgOがLSAW速度に及ぼす影響を詳細に検討した。LSAW速度はMgO濃度の増加に対して単調に増大し、5mol%以上で飽和する傾向を示している。LSAW速度と化学組成、格子定数、密度およびキュリー温度との対応関係を調べた結果、LSAW速度の変化の本質的原因は化学組成比の変化にあることが分かった。また、LFB超音波顕微鏡が非常に高い速度測定分解能を有することから、光用LiNbO_3の新しい材料評価技術として有用であることを示した。 |
| 抄録(英) | In this paper,application of line-focus-beam(LFB)acoustic microscopy to quantitative characterization of LiNbO_3 crystals for optical use,with different MgO dopants from 0 to 9 mol%,is investigated by measuring the leaky surface wave(LSAW)velocities. Then the influence of MgO doping on the LSAW velocities is discussed in detail.The LSAW velocities increase monotonically with the MgO content and saturate with more than 5 mol% MgO content.The measured LSAW velocities are compared with the chemical and physical properties of,chemical composition,lattice constant,density and Curie temperature.It is found that this LSAW velocity change results essentially from the chemical composition change.This ultrasonic method is very useful for evaluating LiNbO_ 3 wafers, crystals for optical use through measurements of LSAW velocities,because of its much greater resolution than any present material characterization method. |
| キーワード(和) | 光導波路型デバイス / 光損傷 / MgO:LiNbO_3 / 化学組成 / 直線集束ビ -ム超音波顕微鏡 / 漏洩弾性表面波速度 |
| キーワード(英) | optical guided-wave device / optical damage / MgO:LiNbO_3 / chemical composition / line-focus-beam acoustic microscopy / leaky surface acoustic wave velocity |
| 資料番号 | US94-52 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | US |
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| 開催期間 | 1994/9/22(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
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| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Ultrasonics (US) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 直線集束ビーム超音波顕微鏡による光用MgO : LiNbO_3単結晶基板の弾性的特性の定量評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Quantitative evaluation of elastic properties of optical MgO : LiNbO_ 3 crystals by line-focus-beam acoustic microscopy |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 光導波路型デバイス / optical guided-wave device |
| キーワード(2)（和/英） | 光損傷 / optical damage |
| キーワード(3)（和/英） | MgO:LiNbO_3 / MgO:LiNbO_3 |
| キーワード(4)（和/英） | 化学組成 / chemical composition |
| キーワード(5)（和/英） | 直線集束ビ -ム超音波顕微鏡 / line-focus-beam acoustic microscopy |
| キーワード(6)（和/英） | 漏洩弾性表面波速度 / leaky surface acoustic wave velocity |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 石地 弘樹 / Hiroki Ishiji |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東北大学工学部電気工学科 Department of Electrical Engineering,Faculty of Engineering,Tohoku University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 櫛引 淳一 / Jun-ichi Kushibiki |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東北大学工学部電気工学科 Department of Electrical Engineering,Faculty of Engineering,Tohoku University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 中鉢 憲賢 / Noriyoshi Chubachi |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 東北大学工学部電気工学科 Department of Electrical Engineering,Faculty of Engineering,Tohoku University |
| 発表年月日 | 1994/9/22 |
| 資料番号 | US94-52 |
| 巻番号（vol） | vol.94 |
| 号番号（no） | 250 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 8 |
| 発行日 | |