| 講演名 | 1999/2/12 弾性波素子のモノリシック集積化に関する一検討 野毛 悟, 宇野 武彦, |
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| 抄録(和) | 著者らはATカット水晶板に対して局所的に結晶軸(x軸)反転領域を持つ人工双品の形成技術について検討を行い、双晶を利用したデバイス集積化の基礎的な実験を行ってきた。従来の方法を改良し、レーザー照射による結晶軸反転技を確立した。さらにこの技術を利用した弾性波デバイスの集積化を試みた。今回、モノリシック集積を施した2次元アレイ型デバイス(2×3個;10MHz基板)を試作し振動子の集積化に関する基礎実験と検討を行ったので報告する。 |
| 抄録(英) | Monolithic integration of AT-cut quartz resonators was investigated. To reduce the mechanical coupling between resonators formed on an AT-cut quartz plate, an x-axis inversion area was formed between the resonators. We have developed a new twinning technique and applied it to fabricate resonator array on an AT-cut plate. A lattice composed of many x-axis inversion lines is formed on an AT-cut plate by the laser beam scanning and a resonator is formed on each area enclosed by the x-axis inversion lines. For example, a resonator array composed of 6 (2×3) resonators was fabricated on an artificial twin AT-cut quartz plate (plate size : 16×15mm). The width of the is isolation line (twinning area) was several times of plate thickness (i.e. about 1mm at 10MHz plate). It was confirmed that the resonators were almost completely isolated by the twinning area. |
| キーワード(和) | 水晶 / x軸反転 / レーザー / 振動子アレー / モノリシック集積 |
| キーワード(英) | quartz / x-axis inversion / laser beam scanning / resonator array / monolithic integration |
| 資料番号 | US98-108 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | US |
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| 開催期間 | 1999/2/12(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Ultrasonics (US) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 弾性波素子のモノリシック集積化に関する一検討 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Monolithic Integration of AT-Cut Resonators Using Laser Beam Scanning |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 水晶 / quartz |
| キーワード(2)（和/英） | x軸反転 / x-axis inversion |
| キーワード(3)（和/英） | レーザー / laser beam scanning |
| キーワード(4)（和/英） | 振動子アレー / resonator array |
| キーワード(5)（和/英） | モノリシック集積 / monolithic integration |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 野毛 悟 / Satoru NOGE |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 神奈川工科大学 電気電子工学科 Dept. Electric and Electrical Eng. Kanagawa Institute of Technology |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 宇野 武彦 / Takehiko UNO |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 神奈川工科大学 電気電子工学科 Dept. Electric and Electrical Eng. Kanagawa Institute of Technology |
| 発表年月日 | 1999/2/12 |
| 資料番号 | US98-108 |
| 巻番号（vol） | vol.98 |
| 号番号（no） | 587 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |