| 講演名 | 1998/6/16 直線集束ビーム超音波顕微鏡による材料評価法における試料裏面反射波の影響 櫛引 淳一, 大橋 雄二, 荒川 元孝, |
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| 抄録(和) | 直線集束ビーム超音波顕微鏡により、薄い試料に対する漏洩弾性表面波(LSAW)速度の測定を行う場合、試料表面を透過し裏面で反射して返ってくる成分(裏面反射波)が測定値に変化を及ぼすことがある。本報では、この裏面反射波を考慮した測定モデルを与え、測定値への影響について理論的・実験的に検討した。まず、薄い合成石英ガラスに対するLSAW速度の周波数特性に現れる見掛け上の音速変化の周期から、測定値に影響を与えるのは裏面反射波の垂直入射成分であることを明らかにした。また、異なる厚さの試料を用いて、試料厚さと見掛け上の音速変化の大きさおよび周期との関係を実験的に示した。次に、見掛け上の音速変化を除去するために、LSAW速度の周波数特性に対し移動平均を行う方法を提案した。厚さ266μmの合成石英ガラスに対して適用した結果、0.413%以上の見掛け上の変化を除去することができ、真値として3422.1m/sが得られた。 |
| 抄録(英) | In this paper, the velocity measurements of leaky surface acoustic waves(LSAWs)by line-focus-beam acoustic microscopy for thin specimens, for which the waves reflected from the bottom surface of the specimen must be included in a measurement model, are investigated theoretically and experimentally. The influence of the reflected waves results in a serious problem in measurement accuracy of apparent changes of measured velocities. Here, using several samples of thin synthetic silica glasses, it is shown that the waves influence the determination of LSAW velocity, and the relation between the specimen thickness and the apparent velocity change with a periodic frequency interval in the frequency dependence of measured LSAW velocities is discussed in detail. Next, a most useful method for eliminating that influence by taking the moving average of the frequency dependence of LSAW velocities is proposed and demonstrated for a synthetic silica glass with 266-μm thickness. The result shows that the apparent velocity change larger than 0.413% can be eliminated and the true value of 3422.1m/s is obtained. |
| キーワード(和) | 直線集束ビーム超音波顕微鏡 / V(z)曲線 / 漏洩弾性表面波 / 周波数特性 / 裏面反射波 / 試料厚さ / 移動平均 |
| キーワード(英) | line-focus-beam acoustic microscopy / V(z)curve / leaky surface acoustic wave / frequency dependence / reflected waves from specimen bottom surface / specimen thickness / moving average |
| 資料番号 | US98-21 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | US |
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| 開催期間 | 1998/6/16(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Ultrasonics (US) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 直線集束ビーム超音波顕微鏡による材料評価法における試料裏面反射波の影響 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Influence of the waves reflected from the bottom surface of solid specimen on velocity measurements by line-focus-beam acoustic microscopy |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 直線集束ビーム超音波顕微鏡 / line-focus-beam acoustic microscopy |
| キーワード(2)（和/英） | V(z)曲線 / V(z)curve |
| キーワード(3)（和/英） | 漏洩弾性表面波 / leaky surface acoustic wave |
| キーワード(4)（和/英） | 周波数特性 / frequency dependence |
| キーワード(5)（和/英） | 裏面反射波 / reflected waves from specimen bottom surface |
| キーワード(6)（和/英） | 試料厚さ / specimen thickness |
| キーワード(7)（和/英） | 移動平均 / moving average |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 櫛引 淳一 / Jun-ichi Kushibiki |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Department of Electrical Engineering, Faculty of Engineering, Tohoku University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 大橋 雄二 / Yuji Ohashi |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Department of Electrical Engineering, Faculty of Engineering, Tohoku University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 荒川 元孝 / Mototaka Arakawa |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Department of Electrical Engineering, Faculty of Engineering, Tohoku University |
| 発表年月日 | 1998/6/16 |
| 資料番号 | US98-21 |
| 巻番号（vol） | vol.98 |
| 号番号（no） | 108 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 8 |
| 発行日 | |