| 講演名 | 1993/11/26 複合振動および高周波数を用いた超音波ワイヤーボンディングについて 辻野 次郎丸, 森 宜寛, 長谷川 浩一, 上岡 哲宜, |
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| 抄録(和) | 従来使用されている振動周波数60kHzより高周波数の90,120kHzの複合振動超音波ワイヤーボンディング装置および190kHzの線形振動超音波ワイヤーボンディング装置を構成し、溶接チップの振動軌跡形状を直線、楕円形・円形に制御して、溶接試料として直径0.1mmのアルミニウム細線および板厚1.0mmの銅板試料を用いて接合特性につき比較検討した。高周波数の複合振動を用いる事により溶接性能の向上し、必要振動速度が従来の数分の一となり、また必要溶接時間が短縮される事が明らかになった。また従来の3倍以上の高周波数190kHzを用いる事により60kHzの場合より必要振動速度、溶接時間が激減し接合特性が顕著に向上する。また十分な接合が行われた細線試料の変形度については複合振動および高周波数の場合ともほぼ同程度であった。 |
| 抄録(英) | The complex vibration ultrasonic wire bonding methods using the same or different freguency complex vibration welding tips were proposed by the author and have been shown very effective for improving the welding charasteristics.Ultrasonic wire bonding using 60 kHz,90 kHz and 120 kHz complex vibration welding tips which vibrate in linear to elliptical or circular and higher- frequency linear vibration welding tip are studied for moreover improving welding characteristics of wire bonding for various electric devices.Aluminum wire specimens of 0.1mm diameter are welded more successfully using these welding equipments than conventional 40 to 60 kHz wire bonding system. The required vibration velocity of these complex vibration are about one-thirds to one-ftft and required welding time is shorter than those for a conventional system using a welding tip of linear vibration locus.The required vibration velocity of a higher- frequency system is smaller than that of a lower-frequency system because of the large number of repitition of ultrasonic vibration stress. |
| キーワード(和) | 複合振動超音波ワイヤーボンディング / 高周波数の超音波ワイヤーボンディング / アルミ ニウム細線の接合 / 溶接試料の変形度 |
| キーワード(英) | complex vibration ultrasonic wire bonding / high-frequency ultrasonic wire bonding / welding of thin aluminum specimen / deformation of welding wire specimen |
| 資料番号 | US93-65 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | US |
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| 開催期間 | 1993/11/26(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Ultrasonics (US) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 複合振動および高周波数を用いた超音波ワイヤーボンディングについて |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Ultrasonic wire bonding using a complex and high-frequency vibration welding tip |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 複合振動超音波ワイヤーボンディング / complex vibration ultrasonic wire bonding |
| キーワード(2)（和/英） | 高周波数の超音波ワイヤーボンディング / high-frequency ultrasonic wire bonding |
| キーワード(3)（和/英） | アルミ ニウム細線の接合 / welding of thin aluminum specimen |
| キーワード(4)（和/英） | 溶接試料の変形度 / deformation of welding wire specimen |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 辻野 次郎丸 / Jiromaru Tsujino |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 神奈川大学工学部電気工学科 Department of Electrical Engineering,Faculty of Engineering, Kanagawa University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 森 宜寛 / Takahiro Mori |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 神奈川大学工学部電気工学科 Department of Electrical Engineering,Faculty of Engineering, Kanagawa University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 長谷川 浩一 / Koichi Hasegawa |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 神奈川大学工学部電気工学科 Department of Electrical Engineering,Faculty of Engineering, Kanagawa University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 上岡 哲宜 / Tetsugi Ueoka |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 神奈川大学工学部電気工学科 Department of Electrical Engineering,Faculty of Engineering, Kanagawa University |
| 発表年月日 | 1993/11/26 |
| 資料番号 | US93-65 |
| 巻番号（vol） | vol.93 |
| 号番号（no） | 354 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 8 |
| 発行日 | |