| 講演名 | 1993/6/18 浮き構造を有する多層薄膜構造超音波トランスジューサ 吉元 進, 塩川 淳一, 橋本 研也, 山口 正恆, |
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| 抄録(和) | ZnO圧電薄膜を用いた超音波トランスジューサに関して、浮き構造を有する多層薄膜構造超音波トランスジューサを提案し試作したので、この詳細について述べる。このトランスジューサは、基板から浮いた構造を有しており、基板側への超音波伝搬を防いでいる。解析の結果、本構造に於て、各層の膜厚を最適に選ぶことで比較的低損失で広帯域な特性が実現できることが判った。実際にトランスジューサの試作をした結果、変換損失11.6dB、-3dB比帯域幅7.8%が得られた。また、試作デバイスを実際の非破壊検査に適用し、その動作の確認を行った。 |
| 抄録(英) | This papar aims at discussing the possibility of applying air- gap structure to the development of multi-layered composite ultrasonic transducer operating in VHF and UHF ranges.Theoretical analysis suggests that low-loss and wide-bandwidth transducers could be realised by the optimisation of the device struture.The ultrasonic transducer having the air-gap structure was constructed, and conversion loss of 11.6dB and bandwidth of 7.8% were obtained. The transducer was also applied to non-destructive testing,and performance of the transducer was evaluated. |
| キーワード(和) | ZnO圧電薄膜 / 超音波トランスジューサ / 多層薄膜構造 / 浮き構造 |
| キーワード(英) | ZnO thin film / Ultrasonic transducer / Multi-layered Structure / Air-gap struncture |
| 資料番号 | US93-17,CPM93-31 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | US |
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| 開催期間 | 1993/6/18(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Ultrasonics (US) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 浮き構造を有する多層薄膜構造超音波トランスジューサ |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Multi-Layered Composite Ultrasonic Transducer Employing Air-gap Structure |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | ZnO圧電薄膜 / ZnO thin film |
| キーワード(2)（和/英） | 超音波トランスジューサ / Ultrasonic transducer |
| キーワード(3)（和/英） | 多層薄膜構造 / Multi-layered Structure |
| キーワード(4)（和/英） | 浮き構造 / Air-gap struncture |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 吉元 進 / Susumu Yoshimoto |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 千葉大学工学部電気電子工学科 Department of Electrical and Electronics Engineering,Chiba University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 塩川 淳一 / Jun-ichi Shiokawa |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 千葉大学工学部電気電子工学科 Department of Electrical and Electronics Engineering,Chiba University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 橋本 研也 / Ken-ya Hashimoto |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 千葉大学工学部電気電子工学科 Department of Electrical and Electronics Engineering,Chiba University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 山口 正恆 / Masatsune Yamaguchi |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 千葉大学工学部電気電子工学科 Department of Electrical and Electronics Engineering,Chiba University |
| 発表年月日 | 1993/6/18 |
| 資料番号 | US93-17,CPM93-31 |
| 巻番号（vol） | vol.93 |
| 号番号（no） | 95 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |