| 講演名 | 1993/6/18 圧電性薄膜を用いた弾性表面波基板の温度係数制御 中川 恭彦, 小俣 忠大, 保坂 桂子, |
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| 抄録(和) | [圧電薄膜, 圧電薄膜/基板]構造の弾性表面波基板について,弾性表面波速度,電気機械結合係数,温度特性の計算を行い,1次零温度係数を与える膜厚の組み合せを求めた.さらにZnO薄膜とTa2O5薄膜がそれぞれ異符号の2次遅延時間温度係数を持つことに注目し[ZnO/Ta2O5/石英ガラス]基板において,1次と2次温度係数の制御方法を提案し,適当な膜厚において3次特性を示す高安定な基板が存在することを理論および実験的に明らかにした. |
| 抄録(英) | This study proposes the control method of the 1 st- and 2nd- order temperature coefficients of two-layer substrate composed of ZnO and Ta_2O_5 thin films which have the 2nd-order temperature coefficients of delay time with the signs opposite to each other. There is a point where the 2nd-order temperature coefficient turns from plus to minus on the curve of film thicckness giving zero of the 1st-order temperature coefficient. |
| キーワード(和) | 弾性表面波 / 圧電薄膜 / 温度係数 |
| キーワード(英) | surface acostic wave / piezoelectric thin film / temperature coefficient |
| 資料番号 | US93-15,CPM93-29 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | US |
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| 開催期間 | 1993/6/18(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Ultrasonics (US) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 圧電性薄膜を用いた弾性表面波基板の温度係数制御 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Control of temperature coefficients of delay time for SAW propagating in thin film layers. |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 弾性表面波 / surface acostic wave |
| キーワード(2)（和/英） | 圧電薄膜 / piezoelectric thin film |
| キーワード(3)（和/英） | 温度係数 / temperature coefficient |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 中川 恭彦 / Yasuhiko Nakagawa |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 山梨大学工学部電子情報工学科 Department of Electeronic and information,Faculty of Engineering, Yamanashi University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 小俣 忠大 / Tadahiro Omata |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 山梨大学工学部電子情報工学科 Department of Electeronic and information,Faculty of Engineering, Yamanashi University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 保坂 桂子 / Keiko Hosaka |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 山梨大学工学部電子情報工学科 Department of Electeronic and information,Faculty of Engineering, Yamanashi University |
| 発表年月日 | 1993/6/18 |
| 資料番号 | US93-15,CPM93-29 |
| 巻番号（vol） | vol.93 |
| 号番号（no） | 95 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |