講演名 1993/5/26
水晶振動子ガスセンサのQ変化および共振周波数変化測定回路の研究
小林 威晴, 中本 高道, 森泉 豊栄,
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抄録(和) 水晶振動子ガスセンサは、その質量変化を周波数変化に変換してガスの検出を行う素子である。しかし、ガス吸着により共振周波数だけでなく、吸着膜の粘弾性変化によるQ値の変化も生じる。従来、一般に用いられてきた発振回路を用いる方法では、このQ値の変化を測定することはできない。また、損失の大きい状態では発振周波数シフトを測定すると誤差が大きくなる。そこで、Q変化と共振周波数を同時に測定する回路を開発した。本回路は、動アドミタンス法により、コンダクタンスの最大値とその時の周波数を検出する。本回路とコルピッツ発振回路との比較を行ったところ、ガス応答に伴いQ値の大きく変化する場合に、両者の結果に大きな違いがみられ、試作回路の有効性を確認した。
抄録(英) A quartz-resonator gas sensor has an output of frequency change due to mass loading.In addition to resonant frequency change,Q of the resonator also varies because of viscoelastic effect.However, it is impossible to measure Q variation by a conventional oscillation circuit.Here,the circuit based upon motional admittance method has been developed for measuring both Q and resonant frequency variations.The circuit behavior was quite different from that of the oscillation circuit in case of large Q variation,and it was confirmed that this circuit was useful.
キーワード(和) 水晶振動子ガスセンサ / においセンサ / 質量負荷効果 / 動アドミタンス / PEG20 M / 粘弾性効果
キーワード(英) Quartz-resonator gas sensor / odor sensor / mass loading effect / motional admittance / PEG 20M / viscoelastic effect
資料番号 US93-7
発行日

研究会情報
研究会 US
開催期間 1993/5/26(から1日開催)
開催地(和)
開催地(英)
テーマ(和)
テーマ(英)
委員長氏名(和)
委員長氏名(英)
副委員長氏名(和)
副委員長氏名(英)
幹事氏名(和)
幹事氏名(英)
幹事補佐氏名(和)
幹事補佐氏名(英)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Ultrasonics (US)
本文の言語 JPN
タイトル(和) 水晶振動子ガスセンサのQ変化および共振周波数変化測定回路の研究
サブタイトル(和)
タイトル(英) Study of Circuit for Measuring Q and Resonant Frequency Variations of Quartz-resonator Gas Sensor
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) 水晶振動子ガスセンサ / Quartz-resonator gas sensor
キーワード(2)(和/英) においセンサ / odor sensor
キーワード(3)(和/英) 質量負荷効果 / mass loading effect
キーワード(4)(和/英) 動アドミタンス / motional admittance
キーワード(5)(和/英) PEG20 M / PEG 20M
キーワード(6)(和/英) 粘弾性効果 / viscoelastic effect
第 1 著者 氏名(和/英) 小林 威晴 / Takeharu Kobayashi
第 1 著者 所属(和/英) 東京工業大学工学部
Faculty of Engineering,Tokyo Institute of Technology
第 2 著者 氏名(和/英) 中本 高道 / Takamichi Nakamoto
第 2 著者 所属(和/英) 東京工業大学工学部
Faculty of Engineering,Tokyo Institute of Technology
第 3 著者 氏名(和/英) 森泉 豊栄 / Toyosaka Moriizumi
第 3 著者 所属(和/英) 東京工業大学工学部
Faculty of Engineering,Tokyo Institute of Technology
発表年月日 1993/5/26
資料番号 US93-7
巻番号(vol) vol.93
号番号(no) 65
ページ範囲 pp.-
ページ数 8
発行日