| 講演名 | 1993/9/22 金属膜の影響を考慮した弾性表面波回折の近似解析 鈴木 勇次, |
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| 抄録(和) | 弾性表面波素子における表面波回折の効果は、従来、表面波が基板の自由表面を伝搬するものとして解析されている。本報告では、任意形状の金属膜による表面波速度低下効果を含めた回折の近似解析法について述べる。この解析法の近似解は、金属膜のある基板表面の場合と自由表面の場合のangular spectrum of wavesの線形和である。一様幅の△V, V導波路の数値計算結果は、スカラーポテンシャルモデルの厳密解とよく一致する。解析の応用例として、ビーム圧縮用薄膜レンズを解析した結果を示す。 |
| 抄録(英) | The effect of diffraction on a surface acoustic wave(SAW)device is usually analyzed on the assumption that the waves are everywhere propagating on a free surface of substrates.In this paper,a new approach for the calculation of SAW diffraction, includingthe velocity reduction due to an arbitrarily shaped metalization pattern,is reported.The approximate solution of the approach is the superposition of the angular spectrum of waves representation for a metalized substrate-surface and that for a free substrate-surface.To verify the validity of the solution,the numerical caluculation of the amplitude of SAW is performed for a △ V, V waveguide of uniform width.The results show good agreement with the exact solution of the scalor wave equation.For example of applicaition of this approach,lenses for beamwidth compression are also analysed. |
| キーワード(和) | 弾性表面波回折 / 弾性表面波導波路 / △V/V導波路 / ビーム圧縮器 / コンボルバ |
| キーワード(英) | SAW Diffraction / SAW Waveguide / △V/ Wave guide / SAW Beam Co mpressor / SAW Convolver |
| 資料番号 | US93-51 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | US |
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| 開催期間 | 1993/9/22(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Ultrasonics (US) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 金属膜の影響を考慮した弾性表面波回折の近似解析 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | An Approximate Method for the Calculation of SAW Diffraction Including △V/V Effect. |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 弾性表面波回折 / SAW Diffraction |
| キーワード(2)（和/英） | 弾性表面波導波路 / SAW Waveguide |
| キーワード(3)（和/英） | △V/V導波路 / △V/ Wave guide |
| キーワード(4)（和/英） | ビーム圧縮器 / SAW Beam Co mpressor |
| キーワード(5)（和/英） | コンボルバ / SAW Convolver |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 鈴木 勇次 / Yuji Suzuki |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 山梨大学工学部 Faculty of Engineering,Yamanashi University |
| 発表年月日 | 1993/9/22 |
| 資料番号 | US93-51 |
| 巻番号（vol） | vol.93 |
| 号番号（no） | 246 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |