講演名 1995/4/26
超高周波超音波による液体流動
張 国慶, 橋本 研也, 山口 正恆,
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抄録(和) 本報告では、筆者らの提案しているVHFからUHF帯で動作可能な高効率な超音波トランスジューサを利用した高効率な超音波流動について報告する。即ち、このトランスジューサにより音響パワーを極めて小さな体積中に集中できるため、極めて高効率の超音波流動が実現できる。また、超音波の浸透深さが小さいため、液体の体積も小さくて済み、マイクロマニピュレータやマイクロポンプの応用に適していると考えられる。ZnO/カバーガラス構造超音波トランスジューサを利用して実験を行なったところ、極めて高効率な超音波流動が観測された。例えば、音響パワー40mWでトランスジューサ上の液面が約5mm持ち揚がった。この値は理論解析ともほぼ符合している。
抄録(英) This papar describes observation of liquid streaming induced by the acoustic waves generated by ultrasonic waves in VHF range. Theoretical analysis shows that the driving force associated with the acoustic streaming is proportional to the square of the frequency. Add to this, large acoustic attenuation in higher frequency makes the driving power concentrates in the vicinity of the transducer. Thus, use of high frequency ultrasonics enables us to develop miniature ultrasonic manipulators and/or liquid pumps with high efficiency and tiny device size. Experiments were performed by using ZnO/cover-glass composite transducer operating in 241MHz. Very efficient acoustic streaming was clearly observed. For example, water surface on the transducer was lifted upto 5mm by the acoustic power of 40mW. This value qualitatively agreed with the theoretical prediction.
キーワード(和) 超音波流動 / 超音波トランスジューサ / マイクロマシン / マニピュレータ / 圧電薄膜
キーワード(英) Acoustic Streaming / Ultrasonic Transducer / Micromachine / Manipulator / Piezoelectric Film
資料番号
発行日

研究会情報
研究会 US
開催期間 1995/4/26(から1日開催)
開催地(和)
開催地(英)
テーマ(和)
テーマ(英)
委員長氏名(和)
委員長氏名(英)
副委員長氏名(和)
副委員長氏名(英)
幹事氏名(和)
幹事氏名(英)
幹事補佐氏名(和)
幹事補佐氏名(英)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Ultrasonics (US)
本文の言語 JPN
タイトル(和) 超高周波超音波による液体流動
サブタイトル(和)
タイトル(英) Liquid Streaming by High Frequency Ultrasonic Waves
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) 超音波流動 / Acoustic Streaming
キーワード(2)(和/英) 超音波トランスジューサ / Ultrasonic Transducer
キーワード(3)(和/英) マイクロマシン / Micromachine
キーワード(4)(和/英) マニピュレータ / Manipulator
キーワード(5)(和/英) 圧電薄膜 / Piezoelectric Film
第 1 著者 氏名(和/英) 張 国慶 / Guo-Qing Zhang
第 1 著者 所属(和/英) 千葉大学工学部電気電子工学科
Dept. of Elec. & Electron. Engrg., Chiba Univ.
第 2 著者 氏名(和/英) 橋本 研也 / Ken-ya Hashimoto
第 2 著者 所属(和/英) 千葉大学工学部電気電子工学科
Dept. of Elec. & Electron. Engrg., Chiba Univ.
第 3 著者 氏名(和/英) 山口 正恆 / Masatune Yamaguchi
第 3 著者 所属(和/英) 千葉大学工学部電気電子工学科
Dept. of Elec. & Electron. Engrg., Chiba Univ.
発表年月日 1995/4/26
資料番号
巻番号(vol) vol.95
号番号(no) 17
ページ範囲 pp.-
ページ数 6
発行日