| 講演名 | 1996/4/26 レーザ干渉縞の位相速度走査により励起した弾性表面波を用いた多孔質シリコンの物性評価 長 秀雄, 竹本 幹男, 西野 秀郎, 塚原 祐輔, 佐藤 倬暢, 佐藤 治道, 中野 禅, 山中 一司, |
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| 抄録(和) | レーザー干渉縞の位相速度走査法により励起した弾性表面波を用いて多孔質シリコン層の位相速度分散を30-90 MHz範囲で、また異方性を非破壊・非接触で測定した。音速測定誤差は1%以下と良好であった。位相速度は空孔率の増加とともに低下し、単結晶シリコンの1/2-1/3と極めて低かった。また、音速の伝播方向依存性を測定したところ90度の周期の異方性が測定され、周波数の上昇とともに最大・最小の音速差は小さくなり、空孔率0.500場合60MHzでは約30m/s程度であった。さらに、逆問題解析によって3個の弾性定数(C_<11>,C_<12>,C_<44>)と膜厚を独立した4つの未知数として推定した。その結果,空孔率の大きい多孔質シリコンはほぼ等方性であり、非晶質的であると思われる。 |
| 抄録(英) | This study aims to evaluate the three elastic constants (C_<11>, C_<12> and C_<44>) and thickness in porous silicon (PS) films with various porosity using velocity anisotropy and dispersion data of surface acoustic waves (SAW) according to the inversion method. We developed a novel laser ultrasonic method which utilized the laser interference fringes scanned at phase velocity of the SAW. In this experiment, the phase velocity of the SAW on the PS films were found to decrease with an increase of the porosity in the frequency range of 30 to 90 MHz. The velocity anisotropy of SAW on the PS film with 0.500 porosity at various frequency showed less anisotropy in the PS film than in single crystal Si. Estimated three elastic constants and thickness as a result from inverse problem showed almost isotropic and amorphous like nature of PS films. |
| キーワード(和) | 位相速度走査法 / 走査干渉縞 / 弾性表面波 / 多孔質シリコン / 弾性定数 / 異方性 |
| キーワード(英) | Phase velocity scanning method / Scanning interference fringes / Surface acoustic waves / Porous Silicon / Elastic constant / Anisotropy |
| 資料番号 | US-96-7 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | US |
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| 開催期間 | 1996/4/26(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Ultrasonics (US) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | レーザ干渉縞の位相速度走査により励起した弾性表面波を用いた多孔質シリコンの物性評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Evaluation of elastic properties of pourous slicon by the phase velocity scanning of laser interference fringes |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 位相速度走査法 / Phase velocity scanning method |
| キーワード(2)（和/英） | 走査干渉縞 / Scanning interference fringes |
| キーワード(3)（和/英） | 弾性表面波 / Surface acoustic waves |
| キーワード(4)（和/英） | 多孔質シリコン / Porous Silicon |
| キーワード(5)（和/英） | 弾性定数 / Elastic constant |
| キーワード(6)（和/英） | 異方性 / Anisotropy |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 長 秀雄 / H. Cho |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 青山学院大学理工学部 Faculty of Science and Engineering, Aoyama-Gakuin Univ. |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 竹本 幹男 / M. Takemoto |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 青山学院大学理工学部 Faculty of Science and Engineering, Aoyama-Gakuin Univ. |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 西野 秀郎 / H. Nishino |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 凸版印刷総合研究所 TOPPAN, Tech. Res. Inst. |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 塚原 祐輔 / Y. Tsukahara |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 凸版印刷総合研究所 TOPPAN, Tech. Res. Inst. |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 佐藤 倬暢 / A. Sato |
| 第 5 著者 所属（和/英） | フジクラ FUJIKURA Ltd. |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 佐藤 治道 / H. Sato |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 機械技術研究所 Mechnical Engineering Labratory |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 中野 禅 / S. Nakano |
| 第 7 著者 所属（和/英） | 機械技術研究所 Mechnical Engineering Labratory |
| 第 8 著者 氏名（和/英） | 山中 一司 / K. Yamanaka |
| 第 8 著者 所属（和/英） | 機械技術研究所 Mechnical Engineering Labratory |
| 発表年月日 | 1996/4/26 |
| 資料番号 | US-96-7 |
| 巻番号（vol） | vol.96 |
| 号番号（no） | 28 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 7 |
| 発行日 | |