| 講演名 | 1997/7/4 光音響分光法による薄膜試料の熱拡散率の測定法 高畠 信也, 小林 武, |
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| 抄録(和) | 基板の一部分に薄膜試料が密着した試料部分と参照にする基板のみ部分の光音響信号を比較することで, 基板の熱特性等を測定することなく薄膜試料の熱拡散率が測定できることを示す. 基板の上面に薄膜試料がある場合と, 下面にある場合の2つの測定法について示す. 基板, 試料を変えて測定した結果, 基板を変えても測定される熱拡散率は試料のバルクで測定されている文献値と試料の厚さ測定の誤差範囲で一致した. |
| 抄録(英) | New measurement methods to determine the thermal diffusivity of thin films without measuring heat characteristics of substrates have been proposed in this paper. We propose two kinds of methods for the measurement of thermal diffusivity of thin film: one for thin film that is placed in contact with the front surface of substrate, and the other for thin film that is placed in contact with he rear surface of substance. It was confirmed that measured values of he thermal diffusivity agreed reasonably with the reported values in the literature. |
| キーワード(和) | 熱拡散率 / 薄膜 / 測定法 / 光音響法 / PAS |
| キーワード(英) | Thermal diffusivity / Thin film / Measurement method / Photoacoustic method / PAS |
| 資料番号 | US97-32,EMD97-25,CPM97-47,OME97-53 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | US |
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| 開催期間 | 1997/7/4(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Ultrasonics (US) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 光音響分光法による薄膜試料の熱拡散率の測定法 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | MEASUREMENT OF THE THERMAL DIFFUSIVITY OF THIN FILMS BY PHOTOACOUSTIC METHOD |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 熱拡散率 / Thermal diffusivity |
| キーワード(2)（和/英） | 薄膜 / Thin film |
| キーワード(3)（和/英） | 測定法 / Measurement method |
| キーワード(4)（和/英） | 光音響法 / Photoacoustic method |
| キーワード(5)（和/英） | PAS / PAS |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 高畠 信也 / Nobuya TAKABATAKE |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 神奈川工科大学工学部電気電子工学科 Dept. Electronic and Electrical Eng., KANAGAWA Institute of Technology |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 小林 武 / Takeshi KOBAYASHI |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 神奈川工科大学工学部電気電子工学科 Dept. Electronic and Electrical Eng., KANAGAWA Institute of Technology |
| 発表年月日 | 1997/7/4 |
| 資料番号 | US97-32,EMD97-25,CPM97-47,OME97-53 |
| 巻番号（vol） | vol.97 |
| 号番号（no） | 148 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
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