| 講演名 | 2000/4/26 レーザースパッタ法による低温c軸配向相NdBa_2Cu_3O_x薄膜の作製 石川 一洋, 座間 秀昭, 森下 忠隆, 鈴木 健夫, |
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| 抄録(和) | 酸化物高温超伝導体NdBa_2Cu_3O_x(NBCO)薄膜は、これまで最も広く研究が行われているYBa_2Cu_3O_x(YBCO)薄膜よりも高い臨界温度および優れた表面安定性を示す。しかし、c軸配向NBCO薄膜は、c軸配向YBCO薄膜よりも80-100℃高い成長温度で作製されてきた。このことが成長の再現性およびデバイスへの応用を難しくさせている。我々はレーザースパッタ法による成膜時の酸素圧力をこれまでよりも高くすることにより、YBCOと同程度の成長温度でも優れた特性を持つc軸配向単相NBCO薄膜を作製することに成功した。 |
| 抄録(英) | NdBa_2Cu_3O_x (NBCO) film has higher critical temperature and more stable surface than YBa_2Cu_3O_x (YBCO) film. The substrate temperature at which the c-axis oriented NBCO film grows is 80-100℃ higher than that for the c-axis oriented YBCO film. This is a drawback of composing multilayers for device applications. We successfully grew high-quality c-axis oriented NdBa_2Cu_3O_x films under high oxygen pressure at the same substrate temperature as c-axis oriented YBCO films grown by a pulsed laser sputtering method. |
| キーワード(和) | レーザースパッタ法 / c軸配向NdBa_2Cu_3O_x薄膜 / 高酸素圧 / 低温成長 |
| キーワード(英) | pulsed laser sputtering / c-axis oriented NdBa_2Cu_3O_x film / high oxygen pressure / low temperature |
| 資料番号 | SCE2000-3 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SCE |
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| 開催期間 | 2000/4/26(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Superconductive Electronics (SCE) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | レーザースパッタ法による低温c軸配向相NdBa_2Cu_3O_x薄膜の作製 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Preparation of Low-Temperature-Phase c-Axis-Oriented NdBa_2Cu_3O_x Films by Pulsed Laser Sputtering |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | レーザースパッタ法 / pulsed laser sputtering |
| キーワード(2)（和/英） | c軸配向NdBa_2Cu_3O_x薄膜 / c-axis oriented NdBa_2Cu_3O_x film |
| キーワード(3)（和/英） | 高酸素圧 / high oxygen pressure |
| キーワード(4)（和/英） | 低温成長 / low temperature |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 石川 一洋 / Kazuhiro ISHIKAWA |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東京電機大学工学部 Faculty of Engineering, Tokyo Denki University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 座間 秀昭 / Hideaki ZAMA |
| 第 2 著者 所属（和/英） | (財)国際超電導産業技術研究センター超電導工学研究所 Superconductivity Research Laboratory, International Superconductivity Technology Center |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 森下 忠隆 / Tadataka MORISHITA |
| 第 3 著者 所属（和/英） | (財)国際超電導産業技術研究センター超電導工学研究所 Superconductivity Research Laboratory, International Superconductivity Technology Center |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 鈴木 健夫 / Takeo SUZUKI |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 東京電機大学工学部 Faculty of Engineering, Tokyo Denki University |
| 発表年月日 | 2000/4/26 |
| 資料番号 | SCE2000-3 |
| 巻番号（vol） | vol.100 |
| 号番号（no） | 24 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |