講演名 2000/1/26
非導電性銅酸化物の誘電特性と層間絶縁層への適用可能性
榎本 陽一, 佐波 実,
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抄録(和) 高Tc酸化物超伝導材料と格子整合性がよいことから、超伝導集積回路用の層間絶縁層への適用が期待されているNd_<1.9>Ba_<1.1>Cu_3O<7+δ>およびPr_<1.14>Ba_<1.86>Cu_3O<7-δ>単結晶について低温における誘電特性を調べた。室温では電気伝導性があるものの、低温になると抵抗が増加し、80K以下の温度で、両材料とも誘電率は25以下、また誘電体損は0.1以下の特性をもつことが明らかになった。これらの誘電率は、単一磁束量子(SFQ)回路のような高速のパルス信号を伝達するマイクロストリップ線への適用を図る上で、遅延時間、表面波励起、放射損、線幅の観点で問題ない。誘電体損は他の層間絶縁用誘電体材料に比べると大きいが、100GHzにおける超伝導体配線の表面抵抗による損失と同じレベルであり、高速で動作させる回路への適用が期待できる。
抄録(英) Dielectric properties of both Nd_<1.9>Ba_<1.1>Cu_3O_<7+δ>(NBCO-213) and Pr_<1.14>Ba_<1.86>Cu_3O_<7-δ>(PBCO) single crystals have been examined at low temperature. These materials have good lattice matching to high-Tc superconductors, but these are conductive at room temperature. Below 80K, these are insulators with low dielectric constants ε_r below 25 and low dielectric loss tan δ below 0.1 at 100kHz. The value of ε_r is suitable for insulators in integrated circuits from strip line width of 10μm order, short delay time, no excitation of surfacewave and low radiation loss. The value of tan δ is comparable to loss of superconducting surface resistance above 100GHz. These results indicate the applicability for the insulator layers in multilayer superconducting electronic devices such as Single Flux Quantum circuits operated at high speed.
キーワード(和) Nd_<1.9>Ba_<1.1>Cu_3O_<7+δ> / Pr_<1.14>Ba_<1.86>Cu_3O_<7-δ> / 誘電特性 / 高周波特性 / SFQ / 酸化物超伝導材料
キーワード(英) Nd_<1.9>Ba_<1.1>Cu_3O<7+δ> / Pr_<1.14>Ba_<1.86>Cu_3O_<7-δ> / dielectric properties / SFQ circuits / oxide superconductor
資料番号 SCE99-44
発行日

研究会情報
研究会 SCE
開催期間 2000/1/26(から1日開催)
開催地(和)
開催地(英)
テーマ(和)
テーマ(英)
委員長氏名(和)
委員長氏名(英)
副委員長氏名(和)
副委員長氏名(英)
幹事氏名(和)
幹事氏名(英)
幹事補佐氏名(和)
幹事補佐氏名(英)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Superconductive Electronics (SCE)
本文の言語 JPN
タイトル(和) 非導電性銅酸化物の誘電特性と層間絶縁層への適用可能性
サブタイトル(和)
タイトル(英) Dielectric Properties of Non-conductive Cuprates and their Possibility for SFQ Circuits
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) Nd_<1.9>Ba_<1.1>Cu_3O_<7+δ> / Nd_<1.9>Ba_<1.1>Cu_3O<7+δ>
キーワード(2)(和/英) Pr_<1.14>Ba_<1.86>Cu_3O_<7-δ> / Pr_<1.14>Ba_<1.86>Cu_3O_<7-δ>
キーワード(3)(和/英) 誘電特性 / dielectric properties
キーワード(4)(和/英) 高周波特性 / SFQ circuits
キーワード(5)(和/英) SFQ / oxide superconductor
キーワード(6)(和/英) 酸化物超伝導材料
第 1 著者 氏名(和/英) 榎本 陽一 / Youichi Enomoto
第 1 著者 所属(和/英) 超電導工学研究所
ISTEC-SRL
第 2 著者 氏名(和/英) 佐波 実 / F.Minoru Saba
第 2 著者 所属(和/英) 超電導工学研究所
ISTEC-SRL
発表年月日 2000/1/26
資料番号 SCE99-44
巻番号(vol) vol.99
号番号(no) 586
ページ範囲 pp.-
ページ数 6
発行日