| 講演名 | 1994/12/14 Si,GaAs,InSb基板上のJosephson素子の製作. 長岐 貴之, 中山 明芳, 内野 剛史, 茅場 瑞樹, 志村 憲章, 星 英伸, 太田口 智秀, 岡部 洋一, |
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| 抄録(和) | Si,GaAs,InSb基板にDCマグネトロンスパッタリング装置を使いNb薄膜をスパッタし,そのストレスを調べると共に各基板上にNb, AlOx-Al/Nbジョセフソン素子を製作し,基板依存性を調べた.GaAs基板上へのジョセフソン素子は,Si基板と同じプロセスでおこない成功した. |
| 抄録(英) | We have made the Nb, AlOx-Al/Nb Josephson tunnel junctions on the Si,GaAs,InSb substrates by the dc magnetron sputtering apparatus.We succeeded in making Josephson junctions on the GaAs substrate by the same process as the Si substrate. |
| キーワード(和) | GaAs基板 / Nbストレス / RIE / ドライエッチング |
| キーワード(英) | GaAs Substrate / dry etching / RIE |
| 資料番号 | SCE94-40,CPM94-95 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SCE |
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| 開催期間 | 1994/12/14(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Superconductive Electronics (SCE) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | Si,GaAs,InSb基板上のJosephson素子の製作. |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Fabrication of Josephson Tunnel Junction on the Si,GaAs,InSb substrate. |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | GaAs基板 / GaAs Substrate |
| キーワード(2)（和/英） | Nbストレス / dry etching |
| キーワード(3)（和/英） | RIE / RIE |
| キーワード(4)（和/英） | ドライエッチング |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 長岐 貴之 / Takayuki Nagaki |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 神奈川大学工学部電気工学科 Department of Electrical Engineering,Faculty of Engineering, Kanagawa University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 中山 明芳 / Akiyoshi Nakayama |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 神奈川大学工学部電気工学科 Department of Electrical Engineering,Faculty of Engineering, Kanagawa University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 内野 剛史 / Takeshi Uchino |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 神奈川大学工学部電気工学科 Department of Electrical Engineering,Faculty of Engineering, Kanagawa University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 茅場 瑞樹 / Mizuki Kayaba |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 神奈川大学工学部電気工学科 Department of Electrical Engineering,Faculty of Engineering, Kanagawa University |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 志村 憲章 / Noriaki Shimura |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 神奈川大学工学部電気工学科 Department of Electrical Engineering,Faculty of Engineering, Kanagawa University |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 星 英伸 / Hidenobu Hoshi |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 神奈川大学工学部電気工学科 Department of Electrical Engineering,Faculty of Engineering, Kanagawa University |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 太田口 智秀 / Tomohide Otaguchi |
| 第 7 著者 所属（和/英） | 神奈川大学工学部電気工学科 Department of Electrical Engineering,Faculty of Engineering, Kanagawa University |
| 第 8 著者 氏名（和/英） | 岡部 洋一 / Youichi Okabe |
| 第 8 著者 所属（和/英） | 東京大学先端科学技術研究センター Research Center for Advanced Science and Technology,University of Tokyo |
| 発表年月日 | 1994/12/14 |
| 資料番号 | SCE94-40,CPM94-95 |
| 巻番号（vol） | vol.94 |
| 号番号（no） | 393 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
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