講演名 | 1994/4/20 薄いBSCCO厚膜の作製とそのマイクロ波応用 磯山 伸治, 長 康雄, 粟井 郁雄, |
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抄録(和) | 本研究の目的は,BSCCO厚膜の高周波回路応用である.最初に,溶融法によって多結晶MgO基板上にBSCCO厚膜(2212相)を作製した.しかし,その厚膜は100~200μm程度と厚すぎたために精度の高いエッチングができなかった.そこで,グリセリンと原料粉末の混合溶液をスピン・コーティングによって基板上に薄く塗り,厚膜の薄膜化を行った.その結果,5~30μm程度の薄いBSCCO厚膜が得られた.次に,TE_011>モード誘電体円柱共振器法を用いて作製した厚膜の10.3GHz付近での表面インピーダンスを測定した.最後に,高周波回路の基本となる線路と共振器の試作をコプレーナ型で行った. |
抄録(英) | The purpose of this study is microwave application of BSCCO thick.(polycrystalline)film.At first,BSCCO thick film(2212)was prepared on a polycrystalline KgO substrate by the melting method. But since the film was very thick(100-200μm),it was not adequate f or high-precision etching.Thus,using the solution made of glycerin and material powder,we have tried to make films thinner and obtained 5-30μm thickness.Next using TE_011>,mode dielectric rod resenator,surface impedance of the film was deterilined at 10.3 GHz.At last,lines and resonators which are the basis of high frequency circuit were made in the coplaner configuration. |
キーワード(和) | BSCCO厚膜(2212相) / 溶融法 / 多結晶MgD基板 / コプレーナ線路 |
キーワード(英) | BSCCO thick film(2212) / melting method / polycrystalline MgO substrate |
資料番号 | SCE94-3,MW94-3 |
発行日 |
研究会情報 | |
研究会 | SCE |
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開催期間 | 1994/4/20(から1日開催) |
開催地(和) | |
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テーマ(和) | |
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幹事補佐氏名(和) | |
幹事補佐氏名(英) |
講演論文情報詳細 | |
申込み研究会 | Superconductive Electronics (SCE) |
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本文の言語 | JPN |
タイトル(和) | 薄いBSCCO厚膜の作製とそのマイクロ波応用 |
サブタイトル(和) | |
タイトル(英) | Preparation of Thin BSCCO Polycry stalline Film and its Microwave Application |
サブタイトル(和) | |
キーワード(1)(和/英) | BSCCO厚膜(2212相) / BSCCO thick film(2212) |
キーワード(2)(和/英) | 溶融法 / melting method |
キーワード(3)(和/英) | 多結晶MgD基板 / polycrystalline MgO substrate |
キーワード(4)(和/英) | コプレーナ線路 |
第 1 著者 氏名(和/英) | 磯山 伸治 / Shinji Isoyama |
第 1 著者 所属(和/英) | 山口大学工学部電気電子工学科 Department of Electrical and Electronic Engineering,Faculty of Engineering,Yamaguchi University |
第 2 著者 氏名(和/英) | 長 康雄 / Yasuo Cho |
第 2 著者 所属(和/英) | 山口大学工学部電気電子工学科 Department of Electrical and Electronic Engineering,Faculty of Engineering,Yamaguchi University |
第 3 著者 氏名(和/英) | 粟井 郁雄 / Ikuo Awai |
第 3 著者 所属(和/英) | 山口大学工学部電気電子工学科 Department of Electrical and Electronic Engineering,Faculty of Engineering,Yamaguchi University |
発表年月日 | 1994/4/20 |
資料番号 | SCE94-3,MW94-3 |
巻番号(vol) | vol.94 |
号番号(no) | 8 |
ページ範囲 | pp.- |
ページ数 | 6 |
発行日 |