講演名 1994/4/20
薄いBSCCO厚膜の作製とそのマイクロ波応用
磯山 伸治, 長 康雄, 粟井 郁雄,
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抄録(和) 本研究の目的は,BSCCO厚膜の高周波回路応用である.最初に,溶融法によって多結晶MgO基板上にBSCCO厚膜(2212相)を作製した.しかし,その厚膜は100~200μm程度と厚すぎたために精度の高いエッチングができなかった.そこで,グリセリンと原料粉末の混合溶液をスピン・コーティングによって基板上に薄く塗り,厚膜の薄膜化を行った.その結果,5~30μm程度の薄いBSCCO厚膜が得られた.次に,TE_011>モード誘電体円柱共振器法を用いて作製した厚膜の10.3GHz付近での表面インピーダンスを測定した.最後に,高周波回路の基本となる線路と共振器の試作をコプレーナ型で行った.
抄録(英) The purpose of this study is microwave application of BSCCO thick.(polycrystalline)film.At first,BSCCO thick film(2212)was prepared on a polycrystalline KgO substrate by the melting method. But since the film was very thick(100-200μm),it was not adequate f or high-precision etching.Thus,using the solution made of glycerin and material powder,we have tried to make films thinner and obtained 5-30μm thickness.Next using TE_011>,mode dielectric rod resenator,surface impedance of the film was deterilined at 10.3 GHz.At last,lines and resonators which are the basis of high frequency circuit were made in the coplaner configuration.
キーワード(和) BSCCO厚膜(2212相) / 溶融法 / 多結晶MgD基板 / コプレーナ線路
キーワード(英) BSCCO thick film(2212) / melting method / polycrystalline MgO substrate
資料番号 SCE94-3,MW94-3
発行日

研究会情報
研究会 SCE
開催期間 1994/4/20(から1日開催)
開催地(和)
開催地(英)
テーマ(和)
テーマ(英)
委員長氏名(和)
委員長氏名(英)
副委員長氏名(和)
副委員長氏名(英)
幹事氏名(和)
幹事氏名(英)
幹事補佐氏名(和)
幹事補佐氏名(英)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Superconductive Electronics (SCE)
本文の言語 JPN
タイトル(和) 薄いBSCCO厚膜の作製とそのマイクロ波応用
サブタイトル(和)
タイトル(英) Preparation of Thin BSCCO Polycry stalline Film and its Microwave Application
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) BSCCO厚膜(2212相) / BSCCO thick film(2212)
キーワード(2)(和/英) 溶融法 / melting method
キーワード(3)(和/英) 多結晶MgD基板 / polycrystalline MgO substrate
キーワード(4)(和/英) コプレーナ線路
第 1 著者 氏名(和/英) 磯山 伸治 / Shinji Isoyama
第 1 著者 所属(和/英) 山口大学工学部電気電子工学科
Department of Electrical and Electronic Engineering,Faculty of Engineering,Yamaguchi University
第 2 著者 氏名(和/英) 長 康雄 / Yasuo Cho
第 2 著者 所属(和/英) 山口大学工学部電気電子工学科
Department of Electrical and Electronic Engineering,Faculty of Engineering,Yamaguchi University
第 3 著者 氏名(和/英) 粟井 郁雄 / Ikuo Awai
第 3 著者 所属(和/英) 山口大学工学部電気電子工学科
Department of Electrical and Electronic Engineering,Faculty of Engineering,Yamaguchi University
発表年月日 1994/4/20
資料番号 SCE94-3,MW94-3
巻番号(vol) vol.94
号番号(no) 8
ページ範囲 pp.-
ページ数 6
発行日