| 講演名 | 1993/10/20 Ag/STO/YBCO積層構造の作成と評価 徳田 人基, 藤本 剛, 田中 聡, 中村 孝夫, 飯山 道朝, |
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| 抄録(和) | Ag, STO/YBCO電界効果型トランジスタを試作評価した。反応性共蒸着法によるSTO/YBCO積層膜について酸化源を選択し相互拡散を抑制する事により明瞭な境界を得た。STOゲート絶縁膜の比誘電率・絶縁耐圧積は8.07×10^7V/cmであった。チャネル厚50nm、ゲート電極寸法100μm×100μmのトランジスタについて伝達コンダクタンス10μs超電導臨界温度シフトは0.5Kを得た。成膜雰囲気の制御が特性向上に不可欠な事が判った。 |
| 抄録(英) | We have investigated a High-Tc Superconducting Channel Transistor,which consisted of a YBCO channel layer,a STO dielectric layer and a Ag gate electrode.The modulation in the superconducting current by electric field was obtained from Ag, STO/YBCO trilayer stractures,which ware depo sited by the succesive ozone-assisted reactiv co-evaporation method.The use of an ultra high vaccum equipment was confirmed to be effective to get sharp STO/YBCO interfaces.Toincrease the trans conductance which is now avowd 10μS,it was formed to be most essential both to shrink the device size and to adjust the deposition conditions. |
| キーワード(和) | 超電導 / 電界効果 / YBCO / STO / 超高真空 / 選択エピタキシャル |
| キーワード(英) | Superconductor / Field Effect / YBCO / STO / UHV / selective Epitaxial |
| 資料番号 | SCE93-45 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SCE |
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| 開催期間 | 1993/10/20(から1日開催) |
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| テーマ（和） | |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Superconductive Electronics (SCE) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | Ag/STO/YBCO積層構造の作成と評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Fabrication & Characterization of Ag/STO/YBCO Try-layer Stractures |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 超電導 / Superconductor |
| キーワード(2)（和/英） | 電界効果 / Field Effect |
| キーワード(3)（和/英） | YBCO / YBCO |
| キーワード(4)（和/英） | STO / STO |
| キーワード(5)（和/英） | 超高真空 / UHV |
| キーワード(6)（和/英） | 選択エピタキシャル / selective Epitaxial |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 徳田 人基 / Hitoki Tokuda |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 住友電気工業(株) Sumitomo Electric Ind.Ltd. |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 藤本 剛 / Takeshi Fujimoto |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 住友電気工業(株) Sumitomo Electric Ind.Ltd. |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 田中 聡 / So Tanaka |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 住友電気工業(株) Sumitomo Electric Ind.Ltd. |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 中村 孝夫 / Takao Nakamura |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 住友電気工業(株) Sumitomo Electric Ind.Ltd. |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 飯山 道朝 / Michitomo Iiyama |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 住友電気工業(株) Sumitomo Electric Ind.Ltd. |
| 発表年月日 | 1993/10/20 |
| 資料番号 | SCE93-45 |
| 巻番号（vol） | vol.93 |
| 号番号（no） | 279 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |