| 講演名 | 1996/10/30 エクリプス・エンジェルPLD法の提案とその特性 (<特集>超伝導エレクトロニクス/一般) 立木 実, 森田 英一, 山田 健二, 方 暁東, 小林 猛, |
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| 抄録(和) | Pulsed Laser Deposition(PLD)法に特有の, 液滴状粒子を排除するのに大変有効である一方, 活性成長種が基板に到達しにくい, 低圧での薄膜堆積速度が小さいという, 従来のエクリプスPLD法の弱点を克服することを目的として, 複数のリング状により遮蔽マスクが構成されるエクリプス・エンジェルPLD法を新たに提案し, シミュレーシヨン及び実験の両面から特性を評価した. その結果, YBa_2Cu_3O_xの成膜において雰囲気酸素圧0.1Torr以下の低圧域での堆積速度が向上し, フレーミングストリークカメラによるプルーム像の高速観察の結果, マスク構造の中心部を通ってくる発光粒子群が基板に到達できることを確認した. |
| 抄録(英) | In spite of the advantage of droplet reduction in the Pulsed Laser Deposition (PLD) process, eclipse PLD method has some drawbacks that deposition rate decreases in low ambient pressure condition, and activated growth species are also shielded by the shadow mask. We proposed new composite shadow mask method named "eclipse angel PLD method". We confirmed growth rate enhancement of YBa_2Cu_3O_x thin films in low ambient oxygen pressure region and directly observed that emitting plume propagated at the center of the ring-masks and reached the substrate by eclipse angel method. |
| キーワード(和) | PLD法 / 遮蔽マスク / YBa_2Cu_3O_x / 堆積速度 / フレーミングストリークカメラ |
| キーワード(英) | PLD / shadow mask / YBa_2Cu_3O_x / deposition rate / framing streak camera |
| 資料番号 | SCE96-22 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SCE |
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| 開催期間 | 1996/10/30(から1日開催) |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Superconductive Electronics (SCE) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | エクリプス・エンジェルPLD法の提案とその特性 (<特集>超伝導エレクトロニクス/一般) |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Eclipse Angel Pulsed Laser Deposition Method |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | PLD法 / PLD |
| キーワード(2)（和/英） | 遮蔽マスク / shadow mask |
| キーワード(3)（和/英） | YBa_2Cu_3O_x / YBa_2Cu_3O_x |
| キーワード(4)（和/英） | 堆積速度 / deposition rate |
| キーワード(5)（和/英） | フレーミングストリークカメラ / framing streak camera |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 立木 実 / Minoru Tachiki |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 大阪大学基礎工学都電気工学科 Department of Electrical Engineering, Faculty of Engineering Science, Osaka University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 森田 英一 / Eiichi Morita |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 大阪大学基礎工学都電気工学科 Department of Electrical Engineering, Faculty of Engineering Science, Osaka University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 山田 健二 / Kenji Yamada |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 大阪大学基礎工学都電気工学科 Department of Electrical Engineering, Faculty of Engineering Science, Osaka University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 方 暁東 / Fang Xiaodong |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 大阪大学基礎工学都電気工学科 Department of Electrical Engineering, Faculty of Engineering Science, Osaka University |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 小林 猛 / Takeshi Kobayashi |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 大阪大学基礎工学都電気工学科 Department of Electrical Engineering, Faculty of Engineering Science, Osaka University |
| 発表年月日 | 1996/10/30 |
| 資料番号 | SCE96-22 |
| 巻番号（vol） | vol.96 |
| 号番号（no） | 333 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |