講演名 1997/7/30
CeO_2バッファ層を用いたAl_2O_3(11^^-02)上のエピタキシャルEuBa_2Cu_3O_7薄膜の作製
横澤 篤史, 若菜 裕紀, 河内 正治, 道上 修,
PDFダウンロードページ PDFダウンロードページへ
抄録(和) Al_2O_3(11^^-02)基板上のCeO_2のエピタキシャル成長と, 上層のEuBa_2Cu_3O_7(EBCO)の成長方位と超伝導性に与えるCeO_2バッファ層の効果を調べた. CeO_2とEBCOはそれぞれRF, DCマグネトロンスパッタリング法を用いて作製し, X線回折装置(θ-2θスキャン, φスキャン), 原子間力顕微鏡(AFM)で解析した. エピタキシャル(100)配向のCeO_2が50~400Åの膜厚のとき, 上層のEBCO薄膜は, T_が90K以上を示した.
抄録(英) Epitaxial growth of CeO_2 films on Al_2O_3(11^^-02) substrates and the effect of CeO_2 buffer layers on the growth orientation and superconducting properties of EuBa_2Cu_3O_7(EBCO) were investigated. CeO_2 and EBCO films were prepared by RF and DC magnetoron sputtering, respectively, and were characterized by X-ray diffraction (θ-2θ scan and φ scan), atomic force microscopy (AFM). The EBCO films deposited on epitaxial (100) oriented CeO_2 50~400Å thick buffer layers had T_'s 90K or above.
キーワード(和) EuBa_2Cu_3O_7薄膜 / CeO_2薄膜 / バッファ層 / サファイア基板 / マグネトロンスパッタリング
キーワード(英) EuBa_2Cu_3O_7 thin film / CeO_2 thin film / buffer layer / sapphire substrate / magnetron sputtering
資料番号 sce97-23
発行日

研究会情報
研究会 SCE
開催期間 1997/7/30(から1日開催)
開催地(和)
開催地(英)
テーマ(和)
テーマ(英)
委員長氏名(和)
委員長氏名(英)
副委員長氏名(和)
副委員長氏名(英)
幹事氏名(和)
幹事氏名(英)
幹事補佐氏名(和)
幹事補佐氏名(英)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Superconductive Electronics (SCE)
本文の言語 JPN
タイトル(和) CeO_2バッファ層を用いたAl_2O_3(11^^-02)上のエピタキシャルEuBa_2Cu_3O_7薄膜の作製
サブタイトル(和)
タイトル(英) Epitaxial EuBa_2Cu_3O_7 Thin Films Grown on Al_2O_3(11^^-02) Substrate with CeO_2 Buffer Layers
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) EuBa_2Cu_3O_7薄膜 / EuBa_2Cu_3O_7 thin film
キーワード(2)(和/英) CeO_2薄膜 / CeO_2 thin film
キーワード(3)(和/英) バッファ層 / buffer layer
キーワード(4)(和/英) サファイア基板 / sapphire substrate
キーワード(5)(和/英) マグネトロンスパッタリング / magnetron sputtering
第 1 著者 氏名(和/英) 横澤 篤史 / Atsushi Yokosawa
第 1 著者 所属(和/英) 岩手大学工学部
Faculty of Engineering, Iwate University
第 2 著者 氏名(和/英) 若菜 裕紀 / Hironori Wakana
第 2 著者 所属(和/英) 岩手大学工学部
Faculty of Engineering, Iwate University
第 3 著者 氏名(和/英) 河内 正治 / Masaharu Kawachi
第 3 著者 所属(和/英) 岩手大学工学部
Faculty of Engineering, Iwate University
第 4 著者 氏名(和/英) 道上 修 / Osamu Michikami
第 4 著者 所属(和/英) 岩手大学工学部
Faculty of Engineering, Iwate University
発表年月日 1997/7/30
資料番号 sce97-23
巻番号(vol) vol.97
号番号(no) 219
ページ範囲 pp.-
ページ数 6
発行日