| 講演名 | 2001/11/1 Measuring the thickness and thickness uniformity of ultra-thin AlO_x films in magnetic tunneling junctions by combined RBS and conducting atomic force microscopy , |
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| 抄録(和) | |
| 抄録(英) | In this article, we present a study to measure average thickness and as well as the thickness uniformity of the ultra-thin AlO_x barrier layer by combined RBS and conducting atomic force microscopy(C-AFM). RBS in tilted angle geometry was used to determine the average thickness on a macroscopic scale. By carefully analyzing the variation of energy width of Al spectra with tilt angle, the average thickness of AlO_x layers has been quantitatively determined. The thickness and thickness uniformity on a microscopic scale was measured by C-AFM. The errors of both techniques will also be discussed. |
| キーワード(和) | |
| キーワード(英) | RBS / conducting AFM / Magnetic tunneling junctions |
| 資料番号 | MR2001-57 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | MR |
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| 開催期間 | 2001/11/1(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Magnetic Recording (MR) |
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| 本文の言語 | ENG |
| タイトル（和） | |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Measuring the thickness and thickness uniformity of ultra-thin AlO_x films in magnetic tunneling junctions by combined RBS and conducting atomic force microscopy |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | / RBS |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | / E.Z. Luo |
| 第 1 著者 所属（和/英） | Department of Electronic Engineering, The Chinese University of Hong Kong |
| 発表年月日 | 2001/11/1 |
| 資料番号 | MR2001-57 |
| 巻番号（vol） | vol.101 |
| 号番号（no） | 400 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | |