| 講演名 | 1999/3/4 GeSbTe記録層への反応ガス導入によるJitter特性改善 菊地 稔, 高瀬 史則, 秋元 義浩, 斉藤 喜浩, 五十嵐 修一, |
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| 抄録(和) | GeSbTe系材料を記録膜に用いた相変化ディスクは、書き換え耐久性に優れていることから、さらなる高速、高密度記録の検討が精力的に進められている。しかしGeSbTe系材料には、オーバーライト回数が1回～約100回において再生信号のJitterが増加する現象 (以後、Jitter peak) が生じる。この問題を解決するため、我々は記録層成膜時に窒素ガスを導入する検討を行ってきた。TEM観察の結果、マーク後端の歪み部分を構成する結晶の粒径が、Jitter peakの発生に関係があることが判った。また、記録層への窒素ガス導入が歪み部分結晶粒径の低下、及びJitter peakの低減に有効であるとの知見を得た。 |
| 抄録(英) | GeSbTe phase change disk is one of the most investigated media for next rewritable optical disk. However the jitter value of recorded signal during first to Several time of direct overwrite is much larger than that of initial writing. By TEM analysis, it is clear that the crystalline grain size of recorded mark edge distortion is related to jitter increase especially in a few cycles. Nitrogen reactive sputtering to the active layer is effective to reduce the grain size and decrease the jitter value. |
| キーワード(和) | 光ディスク / 相変化 / 反応ガス / Jitter / TEM |
| キーワード(英) | optical disk / phase change / reactive gas / Jitter / TEM |
| 資料番号 | MR98-100 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | MR |
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| 開催期間 | 1999/3/4(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
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| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Magnetic Recording (MR) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | GeSbTe記録層への反応ガス導入によるJitter特性改善 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Jitter improvement by reactive gas doping to GeSbTe recording layer |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 光ディスク / optical disk |
| キーワード(2)（和/英） | 相変化 / phase change |
| キーワード(3)（和/英） | 反応ガス / reactive gas |
| キーワード(4)（和/英） | Jitter / Jitter |
| キーワード(5)（和/英） | TEM / TEM |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 菊地 稔 / Minoru Kikuchi |
| 第 1 著者 所属（和/英） | ソニー(株) RMEカンパニー リジツドディスク技術開発部 Media R&D Department, Recording Media & Energy Company, SONY Corporation |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 高瀬 史則 / Fuminori Takase |
| 第 2 著者 所属（和/英） | ソニー(株) RMEカンパニー リジツドディスク技術開発部 Media R&D Department, Recording Media & Energy Company, SONY Corporation |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 秋元 義浩 / Yoshihiro Akimoto |
| 第 3 著者 所属（和/英） | ソニー(株) RMEカンパニー リジツドディスク技術開発部 Media R&D Department, Recording Media & Energy Company, SONY Corporation |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 斉藤 喜浩 / Nobuhiro Saitoh |
| 第 4 著者 所属（和/英） | ソニー(株) RMEカンパニー リジツドディスク技術開発部 Media R&D Department, Recording Media & Energy Company, SONY Corporation |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 五十嵐 修一 / Shuichi Igarashi |
| 第 5 著者 所属（和/英） | ソニー(株) RMEカンパニー リジツドディスク技術開発部 Media R&D Department, Recording Media & Energy Company, SONY Corporation |
| 発表年月日 | 1999/3/4 |
| 資料番号 | MR98-100 |
| 巻番号（vol） | vol.98 |
| 号番号（no） | 630 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |