| 講演名 | 2001/10/11 大面積プラズマ生成用線状アンテナのFDTD解析 玉城 克彰, 佐藤 弘康, 澤谷 邦男, 高木 朋子, 上田 仁, 渡部 嘉, |
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| 抄録(和) | 液晶ディスプレイ, 太陽電池などに使用されるアモルファスシリコン基板の大面積化を目的として, プラズマ中に置かれた折り返しモノポールアンテナ及びそのアレーの特性をFDTD法(Finite Difference Time Domain method)により数値解析している.まず, アンテナ単体の入力インピーダンスの測定値と計算値を比較することにより, プラズマ周波数, 衝突頻度及びイオンシースの厚さを推定すると共に, イオンシースを考慮することが重要であることを示している.次に, 折り返しモノポールアンテナをアレー化したときの電界分布を計算し, 膜厚分布の測定値と比較し, 両者に相関があることを明らかにしている.また, 同相給電の場合には電界分布, 膜厚分布共に不均一となるが, 給電位相を制御することにより, これらが一様な分布になることを明らかにしている. |
| 抄録(英) | In order to obtain large area of amorphous Silicon deposition used for LCD and solar cells, FDTD(Finite Difference Time Domain)analysis of folded monopole antenna and the array antenna in plasma is performed. Plasma parameters such as the plasma frequency, collision frequency and the thickness of ion sheath surrounding antenna conductor are estimated by comparing the calculated input impedance of the folded monopole antenna with experimental results. It is noted that the effect of the ion sheath important to obtain accurate numerical results. The electric field distribution produced by the electric field distribution produced by the folded monopole array antenna is also calculated and compared with the distribution of the deposition rate, showing that the electric field distribution agree qualitatively with deposition rate. It is concluded that the co-phase feeding can not yield uniform distribution of electric and deposition rate, whereas the phase-controlled feeding can make uniform distribution. |
| キーワード(和) | 線状アンテナ / FDTD法 / プラズマ / イオンシース / アレーアンテナ / 位相制御給電 |
| キーワード(英) | Wire antenna / FDTD / Plasma / Ion sheath / Array antenna / Phase-controlled feed |
| 資料番号 | A・P2001-82, RCS2001-121 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | RCS |
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| 開催期間 | 2001/10/11(から1日開催) |
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| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Radio Communication Systems (RCS) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 大面積プラズマ生成用線状アンテナのFDTD解析 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | FDTD Analysis of Wire Antenna Used for Large Area Plasma Production |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 線状アンテナ / Wire antenna |
| キーワード(2)（和/英） | FDTD法 / FDTD |
| キーワード(3)（和/英） | プラズマ / Plasma |
| キーワード(4)（和/英） | イオンシース / Ion sheath |
| キーワード(5)（和/英） | アレーアンテナ / Array antenna |
| キーワード(6)（和/英） | 位相制御給電 / Phase-controlled feed |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 玉城 克彰 / Katsuaki Tamasiro |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Tohoku University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 佐藤 弘康 / Hiroyasu Sato |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Tohoku University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 澤谷 邦男 / Kunio Sawaya |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 東北大学大学院工学研究科 Graduate School of Engineering, Tohoku University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 高木 朋子 / Tomoko Takagi |
| 第 4 著者 所属（和/英） | アネルバ株式会社 ANELVA Corporation |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 上田 仁 / Masashi Ueda |
| 第 5 著者 所属（和/英） | アネルバ株式会社 ANELVA Corporation |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 渡部 嘉 / Yoshimi Watabe |
| 第 6 著者 所属（和/英） | アネルバ株式会社 ANELVA Corporation |
| 発表年月日 | 2001/10/11 |
| 資料番号 | A・P2001-82, RCS2001-121 |
| 巻番号（vol） | vol.101 |
| 号番号（no） | 369 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 7 |
| 発行日 | |