講演名 2001/11/2
Y_2O_3:Tb薄膜のCL特性に対するZnO基板の効果
眞神 毅, 小南 裕子, 中西 洋一郎, 畑中 義式,
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抄録(和) ZnO薄膜、ITO及び石英ガラス基板に電子ビーム蒸着法により緑色発光Y_2O_3:Tb薄膜を作製し、薄膜の結晶性及びCL特性に対する基板の効果について検討を行った。結晶性及びCL特性いずれにも、c軸配向したZnO薄膜上に作製したY_2O_3:Tb薄膜が最も優れた特性を示し、4kV、60μA/cm^2電子線励起で100cd/cm^2の輝度が得られた。
抄録(英) Green emitting Y_2O_3:Tb thin films were deposited by electron beam evaporation on ZnO/quartz, quartz and ITO/quartz substrates and then characterized by X-ray diffraction and cathodoluminescence measurements. The best properties of crystallinity and cathodoluminescent properties were obtained for the Y_2O_3:Tb thin films deposited on ZnO/quartz thin film subustrate with c-axis orientation. The Y_2O_3:Tb thin films deposited on the ZnO/quartz substrate showed luminance of 100cd/cm^2 under 4kV and 60μA/cm^2 excitation conditions.
キーワード(和) cathodoluminesence / Y_2O_3 / Tb / ZnO / thin film / ITO
キーワード(英) cathodoluminesence / Y_2O_3 / Tb / ZnO / thin film / ITO
資料番号 EID2001-50
発行日

研究会情報
研究会 EID
開催期間 2001/11/2(から1日開催)
開催地(和)
開催地(英)
テーマ(和)
テーマ(英)
委員長氏名(和)
委員長氏名(英)
副委員長氏名(和)
副委員長氏名(英)
幹事氏名(和)
幹事氏名(英)
幹事補佐氏名(和)
幹事補佐氏名(英)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Electronic Information Displays (EID)
本文の言語 JPN
タイトル(和) Y_2O_3:Tb薄膜のCL特性に対するZnO基板の効果
サブタイトル(和)
タイトル(英) Effect of ZnO thin film subustrate for CL properties of Y_2O_3:Tb thin films
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) cathodoluminesence / cathodoluminesence
キーワード(2)(和/英) Y_2O_3 / Y_2O_3
キーワード(3)(和/英) Tb / Tb
キーワード(4)(和/英) ZnO / ZnO
キーワード(5)(和/英) thin film / thin film
キーワード(6)(和/英) ITO / ITO
第 1 著者 氏名(和/英) 眞神 毅 / T. Magami
第 1 著者 所属(和/英) 静岡大学電子工学研究所
Research Institute of Electronics, Shizuoka University
第 2 著者 氏名(和/英) 小南 裕子 / Y. Kominami
第 2 著者 所属(和/英) 静岡大学電子工学研究所
Research Institute of Electronics, Shizuoka University
第 3 著者 氏名(和/英) 中西 洋一郎 / Y. Nakanishi
第 3 著者 所属(和/英) 静岡大学電子工学研究所:静岡大学電子科学研究科
Research Institute of Electronics, Shizuoka University:Graduate School of Electronic Science and Technology, Shizuoka University
第 4 著者 氏名(和/英) 畑中 義式 / Y. Hatanaka
第 4 著者 所属(和/英) 静岡大学電子工学研究所:静岡大学電子科学研究科
Research Institute of Electronics, Shizuoka University:Graduate School of Electronic Science and Technology, Shizuoka University
発表年月日 2001/11/2
資料番号 EID2001-50
巻番号(vol) vol.101
号番号(no) 405
ページ範囲 pp.-
ページ数 5
発行日