| 講演名 | 2000/10/13 Al-based Electrodes for Large Size and High Resolution TFT AM-LCDs , |
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| 抄録(和) | |
| 抄録(英) | The signal deformation due to RC(Resistivity -Capacitance)delay is simulated for high-information-content displays based on a simplified equivalent circuit model. The electrode resistivity requirement for large size and high resolution TFT AM-LCDs is scaled. Al-based metal films such as Al-Ta and Al-Cr alloys as well as Al-Mo clay are deposited by magnetron sputtering. As-deposited films are annealed in Vacuum at 400℃ to examine their thermal stability. The samples are characterized with SEM and Four-Probe measurement. The optimum sputtering conditions are obtained. |
| キーワード(和) | |
| キーワード(英) | TFT / Liquid crystal display / Signal delay / RC / Al |
| 資料番号 | EID2000-120 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | EID |
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| 開催期間 | 2000/10/13(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electronic Information Displays (EID) |
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| 本文の言語 | ENG |
| タイトル（和） | |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Al-based Electrodes for Large Size and High Resolution TFT AM-LCDs |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | / TFT |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | / Muju LI |
| 第 1 著者 所属（和/英） | Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences. |
| 発表年月日 | 2000/10/13 |
| 資料番号 | EID2000-120 |
| 巻番号（vol） | vol.100 |
| 号番号（no） | 356 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |