| 講演名 | 2000/10/13 The Crystallization and Hydrogenation Processes of Low Temperature Poly-Si Manufacture , |
|---|---|
| PDFダウンロードページ | PDFダウンロードページへ |
| 抄録(和) | |
| 抄録(英) | Laser crystallization and hydrogenation technologies are the most critical processes in the manufacturing of low temperature poly-Si(LTPS)TFT's. In this paper, the effects of single-pulse laser beam profile on the crystallization of poly-silicon were investigated. In addition, the surface roughness of poly-Si films annealed by various laser-overlapping ratios was carried to verify the effects of laser beam profiles. Furthermore, the electrical characteristics of hydrogenated LTPS TFT's by H_2/Ar RF plasma or PECVD silicon nitride capping layer were also investigated as a function of the hydrogenation time. |
| キーワード(和) | |
| キーワード(英) | |
| 資料番号 | EID2000-119 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | EID |
|---|---|
| 開催期間 | 2000/10/13(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electronic Information Displays (EID) |
|---|---|
| 本文の言語 | ENG |
| タイトル（和） | |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | The Crystallization and Hydrogenation Processes of Low Temperature Poly-Si Manufacture |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | / Chu-Jung Shih |
| 第 1 著者 所属（和/英） | Electronics Research and Service Organization/Industrial Technology Research Institute(ERSO/ITRI)Taiwan |
| 発表年月日 | 2000/10/13 |
| 資料番号 | EID2000-119 |
| 巻番号（vol） | vol.100 |
| 号番号（no） | 356 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | |