| 講演名 | 2000/6/16 EID2000-14 レーザーアブレーションによるナノ微粒子生成過程のレーザー分光画像計測 印丸 貴大, 村本 准一, 中田 芳樹, 岡田 龍雄, 前田 三男, |
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| 抄録(和) | 本研究では、2次元レーザー誘起蛍光法(2D-LIF法)と紫外レイリー散乱法(UV-RS法)という2つのレーザー分光法を用いてレーザーアブレーションプロセス中のシリコン原子およびナノ微粒子の空間分布の画像測定を行い、その挙動を明らかにした。また、この手法では測定することのできなかったクラスターに関しても、再解離レーザーを照射しクラスターを原子へ再解離させ、2D-LIF法を用いて測定する再解離レーザー誘起蛍光法(ReD-LIF法)という方法を考案し、その挙動を初めて画像測定することができた。 |
| 抄録(英) | We report imaging of behavior of silicon atoms and nano-particles ablated from a silicon target in laser ablation process by Two-Dimensional Laser Induced Fluorescence (2D-LIF) and Ultra-Violet Rayleigh Scattering (UV-RS) techniques. We have also proposed a new method to observe the clusters which could not be observed by above techniques. This involved Re-Decomposition of the clusters and Laser Induced Fluorescence (LIF) measurements, and it is termed as ReD-LIF technique. By using this technique we could observe the temporal and spatial behavior of clusters during nano-particles formation process for first time. |
| キーワード(和) | レーザーアブレーション / ナノ微粒子 / クラスター / レーザー分光 / シリコン |
| キーワード(英) | laser ablation / nano-particles / clusters / laser spectroscopy / silicon |
| 資料番号 | EID2000-14 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | EID |
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| 開催期間 | 2000/6/16(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
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| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electronic Information Displays (EID) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | EID2000-14 レーザーアブレーションによるナノ微粒子生成過程のレーザー分光画像計測 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Laser spectroscopy imaging of nano-particles formation process in laser ablation |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | レーザーアブレーション / laser ablation |
| キーワード(2)（和/英） | ナノ微粒子 / nano-particles |
| キーワード(3)（和/英） | クラスター / clusters |
| キーワード(4)（和/英） | レーザー分光 / laser spectroscopy |
| キーワード(5)（和/英） | シリコン / silicon |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 印丸 貴大 / T. Inmaru |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 九州大学大学院システム情報科学研究科 Graduate School of ISEE, Kyushu University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 村本 准一 / J. Muramoto |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 九州大学大学院システム情報科学研究科 Graduate School of ISEE, Kyushu University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 中田 芳樹 / Y. Nakata |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 九州大学大学院システム情報科学研究科 Graduate School of ISEE, Kyushu University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 岡田 龍雄 / T. Okada |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 九州大学大学院システム情報科学研究科 Graduate School of ISEE, Kyushu University |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 前田 三男 / M. Maeda |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 九州大学大学院システム情報科学研究科 Graduate School of ISEE, Kyushu University |
| 発表年月日 | 2000/6/16 |
| 資料番号 | EID2000-14 |
| 巻番号（vol） | vol.100 |
| 号番号（no） | 133 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | |