| 講演名 | 2000/6/15 EID2000-3 プラズマとスパッタ粒子空間分布の可視化 : プレーナマグネトロン放電からPDP放電まで 松田 良信, 大友 晃治, 太田 秀憲, 藤山 寛, |
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| 抄録(和) | PDPの構成要素であるITO透明導電性薄膜の反応性スパッタ作成プロセスにおける発光分光とレーザー誘起蛍光法によるプラズマとスパッタ原子空間分布計測、および面放電型AC-PDPテストパネルで行なってきたマイクロ放電の時空間分解構造診断計測の概要を報告する。 |
| 抄録(英) | Experimental results of optical emission and laser induced fluorescence measurements of plasma and sputtered atoms in the reactive sputter-deposition process of indium tin oxide films which have been used as transparent conductive electrodes in PDP, are presented.In addition, preliminary experimental results of spatio-temporally resolved optical emission measurement, which has been done recently using 3 inch AC-PDP test cell, are presented. |
| キーワード(和) | プレーナマグネトロン / ITO / 反応性スパッタリング / 発光分光 / PDP |
| キーワード(英) | planar magnetron / ITO / reactive sputtering / optical emission / PDP |
| 資料番号 | EID2000-3 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | EID |
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| 開催期間 | 2000/6/15(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
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| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
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| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electronic Information Displays (EID) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | EID2000-3 プラズマとスパッタ粒子空間分布の可視化 : プレーナマグネトロン放電からPDP放電まで |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Visualization of Spatial Profiles of Plasmas and Sputtered Atoms : Planar Magnetron Discharge and PDP Discharge |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | プレーナマグネトロン / planar magnetron |
| キーワード(2)（和/英） | ITO / ITO |
| キーワード(3)（和/英） | 反応性スパッタリング / reactive sputtering |
| キーワード(4)（和/英） | 発光分光 / optical emission |
| キーワード(5)（和/英） | PDP / PDP |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 松田 良信 / Yoshinobu Matsuda |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 長崎大学工学部電気電子工学科 Department of Electrical and Electronic Engineering, Nagasaki University |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 大友 晃治 / Koji Ohtomo |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 長崎大学工学部電気電子工学科 Department of Electrical and Electronic Engineering, Nagasaki University |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 太田 秀憲 / Hidenori Ohta |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 長崎大学工学部電気電子工学科 Department of Electrical and Electronic Engineering, Nagasaki University |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 藤山 寛 / Hiroshi Fujiyama |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 長崎大学工学部電気電子工学科 Department of Electrical and Electronic Engineering, Nagasaki University |
| 発表年月日 | 2000/6/15 |
| 資料番号 | EID2000-3 |
| 巻番号（vol） | vol.100 |
| 号番号（no） | 132 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |