| 講演名 | 2000/3/3 金属マスク微動制御による有機ELデバイスの高精細パターニング 宇津木 功二, 為我井 昌司, |
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| 抄録(和) | 低分子蒸着法による三色(RGB)独立発光方式の有機ELデバイスの高精細ピクセル形成を目的として、金属マスク微動制御機構を試作した。この機構は、板ばね構造を基本とした金属マスク移動用XYステージを備え、発光層薄膜のパターニング(RGB形成)は、金属マスク移動用XYステージをDCサーボモータで微動制御して行った。この機構を適用することによって33μmx90μmサイズの有機薄膜のパターニングを実現し、ピクセルピッチ100μm、開口率60%の発光素子(240x100ドット)を作製した。 |
| 抄録(英) | We have fabricated a metal mask sliding system for the fine patterning of lateral three-color(RGB)emitters in multi color organic EL devices based on vacuum-deposited thin films. The system has an XY stage which consists of plate-spring structure that enables the metal mask to slide minutely, with the sliding carefully controlled by DC servo motors. We were able to obtain multicolor organic EL devices of 240 x 100 dots by the newly developed metal mask sliding system. The pitch of RGB film pixels was 99 μm horizontally and 100 μm vertically. The emissive area was about 26 μm x 75 μm in the sub-pixels and aperture ratio was about 60%. |
| キーワード(和) | 有機ELデバイス / 高精細ピクセル / 高精細パターニング / 金属マスク / 真空蒸着 |
| キーワード(英) | organic EL device / fine pixel / fine patterning / metal mask / vacuum-deposited thin film |
| 資料番号 | EID99-166, OME99-125 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | EID |
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| 開催期間 | 2000/3/3(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electronic Information Displays (EID) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 金属マスク微動制御による有機ELデバイスの高精細パターニング |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Development of Fine-Patterning Method for Organic EL Devices using Metal Mask Sliding in Vacuum Vapor Deposition. |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 有機ELデバイス / organic EL device |
| キーワード(2)（和/英） | 高精細ピクセル / fine pixel |
| キーワード(3)（和/英） | 高精細パターニング / fine patterning |
| キーワード(4)（和/英） | 金属マスク / metal mask |
| キーワード(5)（和/英） | 真空蒸着 / vacuum-deposited thin film |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 宇津木 功二 / Koji Utsugi |
| 第 1 著者 所属（和/英） | NEC機能材料研究所 Functional Materials Research Laboratories, NEC Corporation |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 為我井 昌司 / Masashi Tamegai |
| 第 2 著者 所属（和/英） | NEC研究開発技術本部 R&D Planning and Technical Service Division, NEC Corporation |
| 発表年月日 | 2000/3/3 |
| 資料番号 | EID99-166, OME99-125 |
| 巻番号（vol） | vol.99 |
| 号番号（no） | 663 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |