講演名 | 1999/1/21 化学溶液法によるAC-PDP用誘電体保護膜の形成 堀田 裕, 林 真紀子, 左合 澄人, 中村 智彰, 坂本 渉, 余語 利信, 平野 眞一, |
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抄録(和) | AC-PDPの低コスト化のために、化学溶液法によるAC-PDP用誘電体保護膜の形成について検討を行った。金属Mgとエチレングリコールモノメチルエーテルの反応により得られた化合物を主成分とした溶液を用い、大気中でパネル上にスピンコートし、500℃で焼成することによりMgO膜を調製した。その結果、(111)面方向に配向した透過率95%以上の膜が得られた。また、このMgO保護膜形成後に試作したPDPパネルについて放電電圧を測定した結果、この膜は電子ビーム蒸着法により調製したMgO膜と同等の特性を有することが確認できた。 |
抄録(英) | In order to reduce the cost of AC-PDP, we studied the fabrication process of the protective layer for AC-PDP by chemical solution deposition method. A stable MgO precursor solution was prepared from Mg-metal, 2-methodxyethanol, alcohol and organic additives. A MgO layer was prepared by spin coating using the precursor solution and firing at 500℃ in air. The MgO layer showed(111)plane orientation and high transmission coefficient(>95%). The measurement of discharge properties indicated that our MgO layer had the similar performance compared with electron beam evaporated one. |
キーワード(和) | AC-PDP / MgO / 化学溶液法 |
キーワード(英) | AC-PDP / MgO / chemical solution deposition method |
資料番号 | EID98-109 |
発行日 |
研究会情報 | |
研究会 | EID |
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開催期間 | 1999/1/21(から1日開催) |
開催地(和) | |
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テーマ(英) | |
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幹事補佐氏名(和) | |
幹事補佐氏名(英) |
講演論文情報詳細 | |
申込み研究会 | Electronic Information Displays (EID) |
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本文の言語 | JPN |
タイトル(和) | 化学溶液法によるAC-PDP用誘電体保護膜の形成 |
サブタイトル(和) | |
タイトル(英) | Fabrication of protective layer for AC-PDP by chemical solution deposition method |
サブタイトル(和) | |
キーワード(1)(和/英) | AC-PDP / AC-PDP |
キーワード(2)(和/英) | MgO / MgO |
キーワード(3)(和/英) | 化学溶液法 / chemical solution deposition method |
第 1 著者 氏名(和/英) | 堀田 裕 / Yutaka Hotta |
第 1 著者 所属(和/英) | (株)ノリタケカンパニーカンパニーリミテッド開発本部 Research and Development Division, Noritake co., limited |
第 2 著者 氏名(和/英) | 林 真紀子 / Makiko Hayashi |
第 2 著者 所属(和/英) | (株)ノリタケカンパニーカンパニーリミテッド開発本部 Research and Development Division, Noritake co., limited |
第 3 著者 氏名(和/英) | 左合 澄人 / Sumihito Sago |
第 3 著者 所属(和/英) | (株)ノリタケカンパニーカンパニーリミテッド開発本部 Research and Development Division, Noritake co., limited |
第 4 著者 氏名(和/英) | 中村 智彰 / Tomoaki Nakamura |
第 4 著者 所属(和/英) | 名古屋大学工学研究科 Graduate School of Engineering, Nagoya University |
第 5 著者 氏名(和/英) | 坂本 渉 / Wataru Sakamoto |
第 5 著者 所属(和/英) | 名古屋大学工学研究科 Graduate School of Engineering, Nagoya University |
第 6 著者 氏名(和/英) | 余語 利信 / Toshinobu Yogo |
第 6 著者 所属(和/英) | 名古屋大学工学研究科 Graduate School of Engineering, Nagoya University |
第 7 著者 氏名(和/英) | 平野 眞一 / Shin-ichi Hirano |
第 7 著者 所属(和/英) | 名古屋大学工学研究科 Graduate School of Engineering, Nagoya University |
発表年月日 | 1999/1/21 |
資料番号 | EID98-109 |
巻番号(vol) | vol.98 |
号番号(no) | 549 |
ページ範囲 | pp.- |
ページ数 | 5 |
発行日 |