講演名 1999/1/21
化学溶液法によるAC-PDP用誘電体保護膜の形成
堀田 裕, 林 真紀子, 左合 澄人, 中村 智彰, 坂本 渉, 余語 利信, 平野 眞一,
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抄録(和) AC-PDPの低コスト化のために、化学溶液法によるAC-PDP用誘電体保護膜の形成について検討を行った。金属Mgとエチレングリコールモノメチルエーテルの反応により得られた化合物を主成分とした溶液を用い、大気中でパネル上にスピンコートし、500℃で焼成することによりMgO膜を調製した。その結果、(111)面方向に配向した透過率95%以上の膜が得られた。また、このMgO保護膜形成後に試作したPDPパネルについて放電電圧を測定した結果、この膜は電子ビーム蒸着法により調製したMgO膜と同等の特性を有することが確認できた。
抄録(英) In order to reduce the cost of AC-PDP, we studied the fabrication process of the protective layer for AC-PDP by chemical solution deposition method. A stable MgO precursor solution was prepared from Mg-metal, 2-methodxyethanol, alcohol and organic additives. A MgO layer was prepared by spin coating using the precursor solution and firing at 500℃ in air. The MgO layer showed(111)plane orientation and high transmission coefficient(>95%). The measurement of discharge properties indicated that our MgO layer had the similar performance compared with electron beam evaporated one.
キーワード(和) AC-PDP / MgO / 化学溶液法
キーワード(英) AC-PDP / MgO / chemical solution deposition method
資料番号 EID98-109
発行日

研究会情報
研究会 EID
開催期間 1999/1/21(から1日開催)
開催地(和)
開催地(英)
テーマ(和)
テーマ(英)
委員長氏名(和)
委員長氏名(英)
副委員長氏名(和)
副委員長氏名(英)
幹事氏名(和)
幹事氏名(英)
幹事補佐氏名(和)
幹事補佐氏名(英)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Electronic Information Displays (EID)
本文の言語 JPN
タイトル(和) 化学溶液法によるAC-PDP用誘電体保護膜の形成
サブタイトル(和)
タイトル(英) Fabrication of protective layer for AC-PDP by chemical solution deposition method
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) AC-PDP / AC-PDP
キーワード(2)(和/英) MgO / MgO
キーワード(3)(和/英) 化学溶液法 / chemical solution deposition method
第 1 著者 氏名(和/英) 堀田 裕 / Yutaka Hotta
第 1 著者 所属(和/英) (株)ノリタケカンパニーカンパニーリミテッド開発本部
Research and Development Division, Noritake co., limited
第 2 著者 氏名(和/英) 林 真紀子 / Makiko Hayashi
第 2 著者 所属(和/英) (株)ノリタケカンパニーカンパニーリミテッド開発本部
Research and Development Division, Noritake co., limited
第 3 著者 氏名(和/英) 左合 澄人 / Sumihito Sago
第 3 著者 所属(和/英) (株)ノリタケカンパニーカンパニーリミテッド開発本部
Research and Development Division, Noritake co., limited
第 4 著者 氏名(和/英) 中村 智彰 / Tomoaki Nakamura
第 4 著者 所属(和/英) 名古屋大学工学研究科
Graduate School of Engineering, Nagoya University
第 5 著者 氏名(和/英) 坂本 渉 / Wataru Sakamoto
第 5 著者 所属(和/英) 名古屋大学工学研究科
Graduate School of Engineering, Nagoya University
第 6 著者 氏名(和/英) 余語 利信 / Toshinobu Yogo
第 6 著者 所属(和/英) 名古屋大学工学研究科
Graduate School of Engineering, Nagoya University
第 7 著者 氏名(和/英) 平野 眞一 / Shin-ichi Hirano
第 7 著者 所属(和/英) 名古屋大学工学研究科
Graduate School of Engineering, Nagoya University
発表年月日 1999/1/21
資料番号 EID98-109
巻番号(vol) vol.98
号番号(no) 549
ページ範囲 pp.-
ページ数 5
発行日