| 講演名 | 1993/7/9 1993 SID国際シンポジウム報告 : フラットパネル・ディスプレイ製造セッション 岡本 文雄, |
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| 抄録(和) | フラットパネル製造に関しては、「FPD Manufacturing Technology」セッションで口頭発表5件、「Display Manufacturing」ポスターセッションで3件の発表が行われた。発表の内容はガラス基板に関するもの2件、薄膜製造に関するもの2件、パターニングに関するもの2件、薄膜特性測定および工程管理に関するもの2件であった。これらの発表の概要について述べる。 |
| 抄録(英) | Total 8 papers were presented at the Flat Panel Manufacturing sessions,5 at the oral session on FPD Manufacturing Technology,and 3 at the poster session on Display Manufacturing.The presentations covered the following subjects: ・glass substrates ・thin film deposition equipment ・patterning technologies ・thin film characterization ・manufacturing process control |
| キーワード(和) | FPD製造 / ガラス基板 / 薄膜 / 工程管理 |
| キーワード(英) | FPD manufacturing / glass substrate / thin film / process management |
| 資料番号 | EID93-23 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | EID |
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| 開催期間 | 1993/7/9(から1日開催) |
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| 委員長氏名（和） | |
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| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electronic Information Displays (EID) |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 1993 SID国際シンポジウム報告 : フラットパネル・ディスプレイ製造セッション |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Report on SID′93 International Symposium : FPD Manufacturing Sessio n |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | FPD製造 / FPD manufacturing |
| キーワード(2)（和/英） | ガラス基板 / glass substrate |
| キーワード(3)（和/英） | 薄膜 / thin film |
| キーワード(4)（和/英） | 工程管理 / process management |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 岡本 文雄 / Fumio Okamoto |
| 第 1 著者 所属（和/英） | コーニングジャパン Corning Japan |
| 発表年月日 | 1993/7/9 |
| 資料番号 | EID93-23 |
| 巻番号（vol） | vol.93 |
| 号番号（no） | 135 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |