| 講演名 | 1996/2/20 非晶質シリコンを用いた光散乱型空間光変調素子 菊池 宏, 平野 善之, 藤井 孝憲, 河北 真宏, 藤掛 英夫, 滝沢 國治, 横澤 美紀, |
|---|---|
| PDFダウンロードページ | PDFダウンロードページへ |
| 抄録(和) | 光散乱型空間光変調素子(S LM)は、光利用率が高い、応答速度が速いなど、高輝度・大画面投射型ディスプレイに適した特徴を持つ。 しかし、従来のBSO単結晶を用いた素子は、感度および解像度が低い問題があった。今回、高感度のa-Si:H厚膜( 3 0μm) をECRプラズマCVD法により作製し、新しいSLMを試作評価した。 これにより、従来素子に比べて2倍以上の感度(1mW/cm^2)と高い解像度(50 lp/mm) を持つSLMが得られた。 |
| 抄録(英) | A light scattering mode spatial light modulator, consisting of a hydrogenated amorphous silicon thick-film (30μ m) which is deposited by means of an ECR plasma CVD method, has been developed for a large screen projection display The device has good characteristics, such as a high photosensitivity (1mw/cm^2), a high resolution (50 lp/mm), and a high extinction ratio (100: 1). |
| キーワード(和) | 空間光変調素子 / 非晶質シリコン / ECRプラズマCVD / ポリマー分散液晶 |
| キーワード(英) | SLM / a-Si:H / ECR plasma CVD / PDLC |
| 資料番号 | EID95-113,ED95-187,SDM95-227 |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | EID |
|---|---|
| 開催期間 | 1996/2/20(から1日開催) |
| 開催地（和） | |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | |
| 委員長氏名（英） | |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | |
| 幹事氏名（英） | |
| 幹事補佐氏名（和） | |
| 幹事補佐氏名（英） | |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Electronic Information Displays (EID) |
|---|---|
| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 非晶質シリコンを用いた光散乱型空間光変調素子 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Spatial Light Modulator using Amorphous Silicon Thick-film and Polymer-Dispersed Liquid Crystal |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 空間光変調素子 / SLM |
| キーワード(2)（和/英） | 非晶質シリコン / a-Si:H |
| キーワード(3)（和/英） | ECRプラズマCVD / ECR plasma CVD |
| キーワード(4)（和/英） | ポリマー分散液晶 / PDLC |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 菊池 宏 / Hiroshi Kikuchi |
| 第 1 著者 所属（和/英） | NHK放送技術研究所 NHK Science & Technical Research Laboratories |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 平野 善之 / Yosiyuki Hirano |
| 第 2 著者 所属（和/英） | NHK放送技術研究所 NHK Science & Technical Research Laboratories |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 藤井 孝憲 / Takanori Fujii |
| 第 3 著者 所属（和/英） | NHK放送技術研究所 NHK Science & Technical Research Laboratories |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 河北 真宏 / Masahiro Kawakita |
| 第 4 著者 所属（和/英） | NHK放送技術研究所 NHK Science & Technical Research Laboratories |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 藤掛 英夫 / Hideo Fujikake |
| 第 5 著者 所属（和/英） | NHK放送技術研究所 NHK Science & Technical Research Laboratories |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 滝沢 國治 / Kunihara Takizawa |
| 第 6 著者 所属（和/英） | NHK放送技術研究所 NHK Science & Technical Research Laboratories |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 横澤 美紀 / Minori Yokozawa |
| 第 7 著者 所属（和/英） | NHK放送技術研究所 NHK Science & Technical Research Laboratories |
| 発表年月日 | 1996/2/20 |
| 資料番号 | EID95-113,ED95-187,SDM95-227 |
| 巻番号（vol） | vol.95 |
| 号番号（no） | 525 |
| ページ範囲 | pp.- |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | |